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PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…
フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約11万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 ・非接触で下記が測定できます。 ☆不透明体の厚みマッピング...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【表面処理】セラミックコーティング(蒸着)(耐熱性、離型性)
セラミックコーティング(蒸着)(耐久性、耐熱性、離型性(非粘着性))
ス硬度は2000~3000と非常に高硬度の被膜が得られます。 ■加工可能サイズ 400*400*400程度(膜種によって異なる。) ■処理温度 PVDプロセスの場合 100℃~500℃ CVDプロセスの場合 100℃~600℃(プラズマCVD)、500℃~1200℃(熱CVD) ■母材 工具鋼、ハイス鋼(高速度鋼)、ステンレス鋼、超硬合金など。 ■注意点(処理による欠点等) 穴...
メーカー・取り扱い企業: 蒲田工業株式会社
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DLCコーティング(耐摩耗性、離型性)
■加工技術の詳細 DLCとはダイヤモンドライクカーボンの略称です。 アモルファス(非晶質)構造の炭素薄膜を成膜します。PVD(物理蒸着)CVD(化学蒸着)方式があり目的や条件によって選定致します。 また、DLC処理前に下処理としてWPC処理やブラストロン処理などをすることにより、点接点効果による更なる摩擦係数の低下による滑り性向上も可...
メーカー・取り扱い企業: 蒲田工業株式会社
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