フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

書籍：プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構理解

■「所望の薄膜」を形成するプラズマCVDプロセスの確立に向けて■

電気回路、電磁気学、放電工学、流体力学、化学工学、表面科学… 様々な学問体系が絡み合う、複雑なプラズマCVDを「使いこなしたい！」と願う技術者・研究者へ ○「こういう膜質にしたい」という要望はあるものの、取るべき手段やその理由がわからない人に ○「この数値が関係しそうだ」と予想はつくが、実際には...

メーカー・取り扱い企業： サイエンス＆テクノロジー株式会社

注目の技術専門書一覧　＜化学・材料・エレクトロニクス・自動車＞

サイエンス＆テクノロジーの、注目の技術専門書一覧　＜化学・材料・エレク…

ジメント・空調技術 ■偏光板・位相差板 入門 ■押出成形の基本技術と現場での実践技術 ■真意を聞き出すアンケート設計と開発・評価事例 ■最新ディスプレイ技術トレンド 2018 ■プラズマCVDにおける成膜条件の最適化 ■セルロースナノファイバーの均一分散と複合化 ■マイクロLEDの製造技術と量産化への課題・開発動向 ■超親水・親油性表面の技術 ■狙いどおりの触覚・触感をつくる技...

メーカー・取り扱い企業： サイエンス＆テクノロジー株式会社