フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【事例資料を進呈中】溶射・コーティング/表面処理適用例のご紹介！

PR使い方はいろいろ！溶射をはじめとした表面処理・コーティング技術で生産効…

鉄鋼から半導体、医療分野まで、さまざまな業界で幅広く利用される表面処理。 資料では、溶射・その他技術の概要や実績のあるアプリケーション等、幅広くご紹介しています！ ＼こんな方におすすめです！／ ・表面処理をご検討中の方 ・今よりも長持ちするコーティングをお探しの方 ・熱影響の少ない処理をご希望の方 ・開発中の商品へ高機能性・付加価値付与をご検討中の方 ――――――― 掲載内容 ――――――――...

メーカー・取り扱い企業： トーカロ株式会社

超高真空1インチ（小型）スパッタカソードの開発と商品化

世界最小クラスのスパッタカソード単品試作から用途に合わせて製作

・圧力環境）を得ることができる →酸化・窒化物成膜などの化合物薄膜作成に優れる ○基板ダメージ提言に寄与し、スバッタ効率（成膜レート）を高められる ○バッタカソードとしてだけでなく、プラズマCVD・エッチング電極ならびに 　表面改質プラズマソースとしての応用が可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社