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15件 - メーカー・取り扱い企業
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40件 - カタログ
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…
◉ グラフェン, カーボンナノチューブ ◉ ZnOナノワイヤ ◉ SiO2等の絶縁膜など その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに対応...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…
少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5~100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社
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丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』
電気炉・雰囲気炉/加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』の ご案内です。 ■□■特徴■□■ ■溶解炉 常用/最高温度:750℃/950℃ 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フ...
メーカー・取り扱い企業: 丸祥電器株式会社
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常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています!
【保有設備・機器(抜粋)】 ■横型真空熱処理炉 ■3室型連続式真空熱処理炉 ■油冷式真空熱処理炉 ■真空置換式焼戻炉 ■サブゼロ装置 ■熱CVD装置 ■各種検査機器 ・マイクロビッカース硬さ試験機 ・ショア硬さ試験機 ロックウェル硬度計 ・顕微鏡 ・卓上顕微鏡+エネルギー分散型X線分析装置 ・マイクロスコープ ・偏芯器 ・測...
メーカー・取り扱い企業: 中日本炉工業株式会社
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配管部品の均一加熱を実現!CVDエッチング・アッシング装置に適していま…
ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 (400℃以上のご希望の際はご相談ください。) また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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テルモセラ・ジャパン研究開発用実験炉を紹介。燃料電池・セラミックス等の…
℃ ◉ MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉 Max2000℃ ◉ TVF-110 石英反応管縦型炉 Max1200℃ ◉ Nanofurnace 石英反応管 ホットウオール熱CVD装置 ◉ ANNEAL ウエハーアニール装置 Max1000℃ ※詳細は資料請求またはダウンロードからお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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均熱性に優れた面状ヒーター!
『HFC-Ox』は、C/Cコンポジット(炭素‐炭素複合材)を使用したヒーターが 石英ガラスに完全に覆われており、酸化雰囲気下で最高1,000℃までの 昇温が可能なガス分離型面状加熱ヒーターです。 主に、薄膜装置(CVD/スパッタリング等)や半導体製造装置(基板加熱/ フラッシュアニール等)への組み込みに適しています。 【特長】 ■大気中や酸化雰囲気中で1,000℃まで昇温可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナガノ
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配管ヒーターもお任せください!
千代田交易社では、各種設計・製造・改造を承っています...【各種設計・製造】 ○半導体向けCVDヒーター ○LCD向けヒーター ○ホットプレート ○基板加熱ヒーター 【ヒーター改造】 ○一体化、分割化等 ○配管ヒーター 【配管ヒーターの設計・施工】 ○各装置用配管ヒーター ○排気配管ヒーター ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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実験装置・自動制御装置のことなら当社にお任せください!
株式会社システムリンケージでは、理化学実験装置や真空装置、 生産管理用測定装置の設計・製造を行っております。 研究機関における実験装置は、特殊性が高いために、入念な打合せ、 満足のゆく仕様検討、現場におけるフレキシブルなご対応を心がけ、 製作いたします。 また、当社の真空技術は2乗Pa近辺の低真空から-5乗Pa以下の高真空まで 幅広く対応できます。研究開発機関やクリーンルーム、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社システムリンケージ
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卓上に置いて即実験!高温小型真空炉として使用可能!
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すれば高温真空管状雰囲気炉の完成 ・16パターン×16ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて32×32プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・電源はA.C200V 1P 4Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き ...『FT-201P-...
メーカー・取り扱い企業: フルテック株式会社
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200℃以上の加熱が可能です
ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。 縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。...外皮;シリコンコーテッドガラスクロス(白) 内皮;焼成済みガラスクロス(白) 発熱線;二重絶縁ニクロム線 細配管用K熱電対;SUSクリップ止め 温調もご要望により行います。PID制御可...
メーカー・取り扱い企業: ラックデザイン株式会社
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半導体用発熱体
半導体製造に使われる拡散炉用ヒーター、CVD炉用ヒーターを提供 ...横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての 炉に対して提供が可能です。 またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化 への提案もさせて頂きます。 □■ラインナップ■□ ■ヘビーゲージヒーター(太線) 主に、横型・縦型の拡散プロセスにて用いられるヒーターです。 独自技...
メーカー・取り扱い企業: アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー
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丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』
電気炉・雰囲気炉/加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』のご案内です。 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミック...
メーカー・取り扱い企業: 丸祥電器株式会社
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卓上に置いて即実験!小型真空炉として使用可能!ガス系等及び真空装置を接…
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すればCVD装置の完成 ・9パターン×9ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・M...
メーカー・取り扱い企業: フルテック株式会社
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