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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC
『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた 半導体特性を持つ薄膜です。 当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、 高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。 【特長】 ■高硬度 ■優れた耐熱性 ■優れた耐磨耗性 ■半導体特性を有する ■半導体装置部品等にも適応可能 ※詳しくはカタロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社インターフェイス
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燃料電池向け金属セパレータに最適な高耐食性・高導電性酸化膜
<特長> 大気中で成膜できる シンプルで高機能な CVD被膜...従来のCVD法 ⇒ 真空中で成膜 ・装置が高コスト ・真空引きに時間を要する ミストCVD法 → 大気中で成膜 燃料電池セパレータに求められる 耐食性と導電性をもつ高性能な金属酸化膜 高速な成膜による低コスト化 基材との良好な密着性、高被覆...
メーカー・取り扱い企業: アイテック株式会社
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金型の耐摩耗性・耐凝着性向上や、機械部品の低フリクション化に! ~耐…
「DOWA-低温DLC」は、当社独自のPVD+P-CVDプロセスで成膜することにより、 耐摩耗性・耐凝着性・低フリクション化に優れた、DLC皮膜を形成するコーティング加工です。 成膜装置に高電圧パルス電源を搭載し、DLC皮膜表面の平滑性を保ちつつ、 耐摩耗性を向上させることを実現しました。 特に、アルミプレス加工金型への被加工材凝着対策に適しています。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: DOWAサーモテック株式会社
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板厚4.5mm程度から120mm程度のものまで!鉄・アルミ・ステンレス…
当社では、鉄、ステンレス、アルミの溶接を行っております。 材料手配⇒溶接・製缶⇒歪取り焼鈍・ショット・下塗り⇒機械加工⇒ 仕上げ⇒塗装・メッキ⇒組立と一貫した部品製作が可能。 精度を要求される溶接・製缶構造物の他、ステンレスの溶接構造物も 得意としており、ステンレス溶接構造真空チャンバについては数千台の 実績がございます。 【取り扱い品目(一部)】 ■架台 ・液晶・半導...
メーカー・取り扱い企業: 東金属産業株式会社 本社・沼津工場
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試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします!
『スパッタリングコーティング(成膜)サービス』は、低音高速マグネトロン スパッタを利用したアシストサービスです。 試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします。 各種CVD・EB蒸着・イオンプレーティングも承ります。 立会作業も別途ご相談下さい。 【特長】 ■低音高速マグネトロンスパッタの利用が可能 ■3カソード方式で3層まで同一真空内で積層可能 ■基板加熱3...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アシストナビ
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社内工数の低減、コストダウンに!CVD・PVD・DLC各種コーティング…
当社は、50周年を迎えブラスト加工を軸に付随した加工を 溶射・ドライアイスブラスト・部品製作をしております。 お預かりする品物の形状や品質要求に応じたブラスト機を 各種取り揃えていますので、様々なご要望にお応え。 ブラスト加工においては、特に精密部品の加工を得意にしており、 精密部品には、半導体・FPD関連・真空装置部品・ 各種コーティング装置部品から金型や薄物部品などの加工を...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社東洋ブラスト工業所
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大村技研の技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連等で採用されていま…
大村技研株式会社はガス関連事業と半導体関連事業が密接に結びついている企業です。各種生産工場(半導体・液晶・食料品・機械)、研究所等が当社の得意なフィールドです。大村技研の技術は、半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連、食品工場、各種製造プラント、薬品研究所、 研究機関等、精密性・緻密性・安全性を厳格に求められる多くの業界で採用されています。 当社は半導体のフィールドで培った豊富な経験と、信頼のネッ...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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細くて深い溝にも綺麗に成膜できる!新しいMEMS受託加工サービスのご紹…
従来のCVD法で生じた成膜のムラをALD法を使って解消しませんか。 ALD(Atomic Layer Deposition)では原子レベルで一層ずつ成膜するため、細く深い溝にも緻密に成膜することが可能です。 6インチ及び8インチのバッチ処理に対応。 ご興味ございましたら、弊社までお気軽にお問い合わせください。 https://www.sssj.co.jp/cgi-bin/ja/usr/...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン
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低温での成膜加工が可能!ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET…
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置ま...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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