サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

安全遮断弁『GasMultiBloc』

ニーズに沿ったガス安全制御エンジニアリングに関するソリューションを提供

【その他の特長】 ■DIN EN 161 クラスA グループ2に準拠する、360mbar (36 kPa) までのソレノイドバルブ ■DIN EN 88 クラスA グループ2に準拠した、比例レギュレータによる出口圧力の微...

メーカー・取り扱い企業： カール・デュングス合同会社

ダブルソレノイドバルブ『DMVシリーズ』

ダブルシート弁！2つのバルブが取り付けられていた場所に1つのバルブで置…

となります。 適用対象気体は、非鉄金属の混入がなく、最大0.1 vol% (dry) H2Sまでの、 都市ガス、天然ガス、LPG、及びその他の中性ガスとなっています。 【特長】 ■DIN EN 161 クラスA グループ2に準拠した自動遮断弁 ■2つのAバルブが1台に搭載 ■ダブルシート弁 ■高流量値 ■最大動作圧力は 500 mbar (50 kPa) ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： カール・デュングス合同会社

圧力レギュレータ『FRS』

安全性の高い二重ダイアフラム！可変設定スプリング荷重式の圧力レギュレー…

『FRS』は、可変設定スプリング荷重式の圧力レギュレータで、 EN 88-1およびDIN 3380の規格承認品です。 当製品は、ガスバーナやガス機器向けのガスや、H2S濃度0.1 vol.% dry以下の ガスに適用可能です。 二次圧導圧口は内部に組み込まれており、オプ...

メーカー・取り扱い企業： カール・デュングス合同会社