サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

3021型　デジタル流量計

タービン式流量トランスミッター

材質】PVC-U, PVDF 【流体温度】PVC-U:10～60℃,PVDF:-20～80℃ 【使用圧力】Max 1.0MPa 【供給電圧】DC24V 【接続】ユニオンソケット(JIS, DIN)...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

850 HP型　ハイピュリティ面積式流量計

高純度流体用 PVDF製フローメーター

0 L/h 【呼び径】15 ～ 25Ａ 【適用流体】液体 【流体温度】-20 ～ 120℃ 【使用圧力】Max 1.0MPa 【本体材質】PVDF 【フロート材質】PVDF 【接続】DINユニオンソケット ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社