ファンフィルターユニット（FFU）

筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

貴社製造装置のご要望に応じた特注対応のFFUがご提案できます（※1)。 何なりとご要望をお聴かせください。 【主な特注可能な仕様】 1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを...

メーカー・取り扱い企業： トーアメック株式会社

ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。 ・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。 ・工場HOSTとの通信対応も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

半導体製造関連　【半導体ウェハ自動搬送装置】

検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。除振機構を採用、検査…

■FFU（クリーンファンユニット）付、完全密閉型クリーン環境検査。 ■除振機構 ■ウェハ有無の自動検出機能 ■プリアライメント機構　XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン