EFEM・ソータ『TYK2102-2』

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェー…

25段(SEMI E47.1) ・300mm FOSB 25段(SEMI M31) ■電源電圧：単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% ■消費電流：4kVA(20A/200VAC)FFUを含む ■真空(元圧)：-80kPa～-90kPa ■真空(流量)：40L/min、50L/min ■正圧(元圧)：0.6MPa～0.7MPa ■正圧(流量)：20L/min、30L/mi...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

FA設備　企画・設計・製作サービス

自動組立機、自動搬送装置等のFA設備の企画・設計・製作ならお任せくださ…

クリーンルーム対応も可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【実施例】 ■リーク検査機 ■ラベル貼付機 ■異物除去装置 ■ウェイトチェッカー付き搬送装置 ■FFU付きクリーンブース　他 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エムエムディー