ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。 ・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。 ・工場HOSTとの通信対応も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム