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ウエッジ角度によるエラーが皆無
FZくさび形ステージ(FZ080)は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションス…
性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。 標準ステージは下記の分類があります。 ・FBリニアステージ ・FRロータリーステージ ・FGゴニオステージ ・FZくさび形ステージ これらのステージは、標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。 また、標準的ステージに適さないアプリケーションについて...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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