MEMS | イプロスものづくり

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

『ゴア(R)MEMSプロテクティブベントStyle100』

マイクロフォン防塵ソリューション

『ゴア(R) MEMSプロテクティブベントStyle100』は、リフロー工程を始めとする製造時の微粒子の混入からマイクロフォンを保護します。また、延伸ポリテトラフルオロエチレン（ePTFE）の多孔質構造が、...

メーカー・取り扱い企業：日本ゴア合同会社

超精密MEMS金型・MEMS加工

ナノテク分野で必要な微細形状の加工を行えます！　３-Ｄエレクトロフォー…

88nm以下を実現、（4)標準表面硬度は400〜500Hv。（5)内部応力による金型ひずみ無し。100nm形状転写実績有。ナノインプリンティング金型、光学関連、マイクロリアクター等分析・医療機器、MEMS部品の製作が可能。...

メーカー・取り扱い企業：若狭電機産業株式会社

超ファインピッチに対応する検査用プローブ！『MEMSプローブ』

≪超ファインピッチに対応する検査用プローブ≫微細加工から検査までの自動…

『MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロセッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。また...

メーカー・取り扱い企業：ニデックアドバンステクノロジー株式会社

MEMS Trench SOI　ウエハー（誘電体分離技術）

高品質結晶のシリコン層！MEMS技術で従来のジャンクション隔離法と比較…

アイスモスは一つのチップ上で高耐圧部とコンポーネンツを分離するなどといった誘電体分離技術を提供します。隔離には厚い膜のSOIと高いアスペクト比の深いトレンチエッチおよび酸化膜とポリの埋め込み構造を使います。この技術には100-150mmのウエハーサイズ、デバイスレイヤーは 1.5-100umの厚みに適用可能です。【特長】 ■埋め込み層をなくす ■高品質結晶のシ...

メーカー・取り扱い企業：アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

CSOI　MEMS ウエハーソリューション

深いシリコンエッチやMEMS加工の⾧年の経験を活用して、お客様の設計に…

当社は、100-150mmのキャビティーボンディングSOIウエハーをMEMSの広い分野において提供するリーディングサプライヤーです。高度なウエハーボンディング技術を提供し、お客様のキャビティー仕様の材料を革新的な製品への材料として可能にします。アイ...

メーカー・取り扱い企業：アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

『電鋳による新たな可能性』

MEMS部品から医療部品まで、電鋳による可能性を紹介！

GDLAB/電鋳・表面改質技術研究所では、半導体・電子部品、接点・接触子、機械部品、フィルター、光回路、パイプ・スプリング等をMEMS関連技術により製作します。試作例として、光造形でマスター造形し、シリコンゴムでレプリカを作成する「MEMS Micro Connector」や、レジストと電鋳技術を用いた成形法の「...

メーカー・取り扱い企業： GDLAB合同会社

DSOI　ウエハーソリューション

20年以上の経験！興味深い仕様範囲の材料で完全なDSOIの解決法をご提…

アイスモス・テクノロジーはDSOIのリーディングサプライヤーです。 DSOIは、ICやMEMS用に幅広く使われており、SOI製造の20年以上の経験をもとに、私たちは幅広い市場で応用できるような興味深い仕様範囲の材料で完全なDSOIの解決法をご提供します。広範囲なSOI経験が...

メーカー・取り扱い企業：アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

ウェット処理装置

立体構造パターン対応！MEMS特有の材料・工程に対応したカスタム装置

日立ハイテクでは『ウェット処理装置』を取り扱っております。厚膜レジスト、フィルムレジスト対応の装置をはじめ、 MEMS対応仕様などをラインアップ。お客様特有のプロセスもカスタマイズ対応します。お気軽にご相談ください。【特長】＜現像剥離工程＞ ■厚膜レジスト、フィルムレジスト対応 ■豊富なオ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

カスタマイズ特化｜圧力センサ STX｜基盤実装型｜S'mate

お客様のご要望に沿って、圧力レンジ・精度・サイズ・出力形式・接続方法な…

納期・少量生産に加え、特性のカスタマイズ・コネクタなどのオプション製造も承ります。そのため、お客様のパッケージング時の設計コスト削減やわざわざ他部品の調達する手間なども省くことができます。 MEMSと応力集中構造を採用し測定圧力直線性を向上。校正機能と温度補償により広い温度範囲に渡り高精度で安定した出力を実現。 ASIC補償技術を使用してセンサ毎に特性補償。＜特徴＞ 1.ME...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテクソリューション

慣性センサシステム試験装置『AC 1120Si シリーズ』

MEMSセンサの試験用に適切化された設計！慣性センサシステム試験装置

『AC 1120Si シリーズ』は、慣性装置、慣性計測器およびMEMS センサの試験用に適切化された設計の慣性センサシステム試験装置です。 24または30ラインのスリップリングを内蔵し、連続回転が可能です。また、テーブルの運転は、RS‐232またはU...

メーカー・取り扱い企業：伊藤忠アビエーション株式会社

【オートモービル分野】車載部品

MOSTネットワークモジュールをはじめ、窓枠金具、バッテリー関連部品な…

当社は精密部品を得意とした、幅広い分野でご対応しております。オートモービル分野では、MEMSモジュールをはじめ、ウインドウスイッチ、シートセンサー、シートベルトスイッチなどを生産。自動車産業品質マネジメントIATF16949(ISO/TS16949)取得済みで、車載伝送...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Ring

エプソンインクジェットヘッド『S800』

多くのエプソン製産業用製品に搭載！幅：8.3mmの薄さとノズル列間：約…

【その他の特長】 ■MEMS 及び内製薄膜ピエゾにより高精度、高密度（600npi/2 列）を実現 ■小型、高速、高品質、高画質に貢献 ■真円に近いインク滴を高い精度でメディアに着弾することができる ■粒状感が極めて少...

メーカー・取り扱い企業：エプソン販売株式会社 IJSMD課

『ロジウムによる電鋳』

硬度が極めて高く、耐座耗性に優れているロジウム！医療部品から宝飾品ま…

GDLAB/電鋳・表面改質技術研究所では、半導体・電子部品、接点・接触子、機械部品、フィルター、光回路、パイプ・スプリング等をMEMS関連技術により製作します。「ロジウム」は、白色光沢を有し、さらに化学的に極めて安定しているので、常温で酸化変色することがありません。さらに、硬度が極めて高く、耐座耗性に優...

メーカー・取り扱い企業： GDLAB合同会社

エプソンインクジェットヘッド『Iシリーズ』

小型、高速、高品質、高画質に貢献！粒状感が極めて少ないなめらかなグラデ…

『Iシリーズ』は、All MEMS及び内製薄膜ピエゾにより高精度、高密度（600npi/2列）を実現したインクジェットヘッドです。エプソン独自のMSDT（Multi Size Dot Technology）で吐出する液...

メーカー・取り扱い企業：エプソン販売株式会社 IJSMD課

住友精密工業株式会社　会社概要

航空宇宙・NEMS・半導体製造装置・油圧制御・熱交換器まで幅広いソリュ…

い！ (液種・温度・ワーク等の制限があり、使用できない場合があります。) 【掲載内容】航空・宇宙熱交換器油圧制御環境システム（オゾン発生装置） MET（液晶製造装置） MEMS・半導体製造装置 MEMSデバイス燃料電池 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くかお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：住友精密工業株式会社