独自技術を採用したガラス加工用レーザー装置

PR高速かつ正確なガラス微細加工が可能。加工時の応力を抑えて、マイクロクラ…

『LPKF Vitrion M 5000 Gen2』は、独自に開発した「LIDEプロセス」を採用し、±5μm以下の高精度でガラス微細加工が可能なレーザーシステムです。 加工時の応力を最小限に抑え、チッピングやマイクロクラックの発生を防止。 アドバンストパッケージングで標準使用される150×150mmから 510×515mmまでの大型パネルに対応し、基板のサイズや 形状に合わせて柔軟に対...

メーカー・取り扱い企業： LPKF Laser&Electronics株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

浮上搬送用ロール『エアベアリングロール』

多孔質×カーボンでウェブを触れずに搬送！流体膜による偏荷重のないウェブ…

■こんなお悩みありませんか？ 　・接触によりスリップキズができてしまう 　・ロール部で折れやシワができてしまう 　・搬送速度を上げたいが、ロールとの速度差による制限が生じている 　・ロールの摩耗により、異物の発生やロールの交換が必要 ■エアベアリングロールで実現できること 　『ほぼ無摩擦・無摩耗、高速・高精度特性』で歩留まり改善など生産性の向上が見込めます。 　・安定した流体膜で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ