フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

3Dプリンタ用スライスソフト『Neonite-Slicer』

評価試験（機能試験）が行える造形物の作成を目的としたスライサです

『Neonite-Slicer』は、3Dモデルをプリンタ用制御コードに変換する スライスソフトです。 形領域や材料の吐出量、速度などの造形条件を詳細に設定することで、 通常の材料であるPLAやABSなどの素材に加えてナイロンやPEEKなどの エンジニアリング・プラスチック素材での造形が可能。 また、特殊な造形物でのパス生成方法の調整やパラメータ追加など、 お客様からの様々な...

メーカー・取り扱い企業： ケイワイ株式会社