フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ナノ潤滑膜評価装置

単分子膜の存在形態や、配列構造に依存した摩擦特性の測定ができます

■回転数：0.1～100rpm(設定1rpm未満0.01rpm単位、1rpm以上0.1rpm単位) ■回転ジッタ：0.1％PP以下 ■回転制御方式：エンコーダ(324,000ppr)によるPLL制御 ■加重機構：クローズドループ制御のピエゾにより0.1μmの分解能で負荷/徐荷 ■最大計測摩擦力： 50mN/10V(分解能5μN) ■センサ 　・摩擦力測定：静電容量変位計極微小力セ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクアルファ