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PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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業界トップクラスの基本性能
A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット:20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計 設置面積 0.17m2 縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能(吸気口向き水平のみ) A103P •ミディアム...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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