実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

シリカコート【トフマク　非粘着コート】

シリカコート トフマクにシリコーン、あるいはフッ素系の非粘着層を有する…

も有する事ができます。 トフマク前駆物質の有機溶媒溶液（基本は、キシレンorジブチルエーテル）を塗布液として用い、大気中で焼成することにより、大気の水分や酸素と反応し、高純度シリカ（アモルファスSiO2）膜が得られます。 塗布後溶剤が揮発すれば速やかに硬化し、比較的低温（１００～１５０℃）の処理で、石英に匹敵する性質の硬い皮膜が得られます。 非常に薄い膜厚（２μｍ以下）が得られます。 １...

メーカー・取り扱い企業： 日東商事株式会社