実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

【加工事例】ハイブリッド電着　難削材

チッカ珪素の円弧溝加工やアルミナの穴あけ加工等、ハイブリッド電着工具に…

00」を使用し、 幅10mm深さ6mmの円弧溝加工を施しました。 その他にも、ジルコニア（ZrO2）、チッカ珪素（Si3N4）の円弧溝加工や、 アルミナ（Al2O3）の穴あけ加工、石英（SiO2）の止まり溝加工等の 事例がございます。 【加工条件（抜粋）】 ＜炭化珪素（SiC）の円弧溝加工＞ ■使用工具：IZW φ10.0 #200 ■使用機械：マシニングセンタ ■周速：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイゼン