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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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チッカ珪素の円弧溝加工やアルミナの穴あけ加工等、ハイブリッド電着工具に…
00」を使用し、 幅10mm深さ6mmの円弧溝加工を施しました。 その他にも、ジルコニア(ZrO2)、チッカ珪素(Si3N4)の円弧溝加工や、 アルミナ(Al2O3)の穴あけ加工、石英(SiO2)の止まり溝加工等の 事例がございます。 【加工条件(抜粋)】 <炭化珪素(SiC)の円弧溝加工> ■使用工具:IZW φ10.0 #200 ■使用機械:マシニングセンタ ■周速:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイゼン
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