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  • 光化合物半導体　プラズマ加工装置 製品画像

    光化合物半導体　プラズマ加工装置

    長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以…

    の際は、お気軽にお問い合わせください。 【用　　　途】 VCSEL、LED、μLED、Micro Lens、Wave Guide 【エッチング】 サファイア、GaN、GaAs、Si3N4、SiO2など 【成　　　膜】nSiO2、Si3N4、a-Si、SiCなど ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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    メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • 卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』 製品画像

    卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』

    教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…

    【仕様(一部)】 ■PECVD装置 ・SiN3膜形成 ・SiO2膜形成 ・サンプルサイズ最大240mm ■スパッタ装置 ・金属膜 ・有機膜 ・サンプルサイズ最大150mm ■反応性イオンエッチング装置 ・表面処理 ・故障解析 ・サンプルサイズ...

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    メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

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