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平滑なエッチング面と高い加工精度を実現!サンプルテスト対応いたします!
形基板対応可能) ■対応基板:Si、石英、セラミックス(アルミナ、AlTiC等)ガラス、 圧電体(LT,LN)等 ■エッチング対象:基板Si、石英、 各膜種 Si系(SiO2、SiN)・有機膜 等 ■対象プロセス:Si深掘り、SiN犠牲層形成、各種薄膜エッチング等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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