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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【安全対策】工場・倉庫内の安全性向上に大活躍!足元の低い位置で発生する…
アクセレントのX-Protect(エックス・プロテクト)衝撃保護システムに、フロアバリアが登場! 単体での設置も、同シリーズの他の製品と組み合わせての設置も、どちらも可能です。 X-Protectシリーズの組立はとても簡単! 支柱の間にレールをスライドさせるだけで、最低限の工具での設置が可能です。 またレイアウト変更や拡張が必要な際にも、モジュラー設計により、既存の構成を簡単に変更する...
メーカー・取り扱い企業: アクセレントジャパン株式会社
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短時間で正確に設定した室圧を実現できる室圧コントローラ!クリーンルーム…
『PECシリーズ』は、室内の空気圧を制御して、隣室や部屋の周囲、外部からの汚れた空気の侵入を防ぐ室圧コントローラです。 圧力センサとコントローラ、空調用ダンパーを開閉するモーターが一体になっており、空調の風量は一定のまま排気量を変化させて室圧を制御します。 室間差圧制御(特に微差圧制御)が可能なのでクリーンルームにも最適です。 【活用事例】 製薬メーカーやバイオ研究所など、医薬品メーカ...
メーカー・取り扱い企業: 岡谷精立工業株式会社
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Watson-Marlow(ワトソンマーロー)株式会社 東京本社、大阪支社