【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

永電磁式リフティングマグネット『テクノリフト』

簡単操作で省エネ効果と安全性を提供！豊富なラインアップをご用意しており…

『テクノリフト』は、MAG-AUTOBLOK TECNOMAGNETE SPA社製の永久磁石を用いた鋼材の搬送用システムです。 2つの永久磁石（アルニコ磁石、ネオジム磁石）の磁力を利用する リフティングマグネットで、電磁式リフティングマグネットに比べ軽量で、 重量物の搬送に優れています。 豊富なラインナップを展開しており、様々な形状・サイズ・重量にも対応可能です。 【特長】 ■搬送中に電気供...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

X-LRMシリーズ精密電動ステージ

コンパクト・低床・高剛性・高精度リニアステージ

・ストローク長は25～200ｍｍ ・焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性 ・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ...

メーカー・取り扱い企業： テクノロジーリンク株式会社

ロボットハンド向け微調整ユニット『FCD-05（ミニサイズ）』

ロボットワークの“芯ズレ”をならい補正！小型部品の挿入に適してます。

『FCD（ファインコントロールディバイス）』シリーズは、 テーパー面に沿って天板がスムーズにスライドする特長を活かし、 ピック＆リリース動作をサポート。芯ズレによる動作エラーなどに効果を発揮します。 今回、ミニサイズ品である『FCD-05』が登場！ 従来品と比較して、約50％小型化。重量も約85％軽量化しています。 小型部品などの挿入工程やロボットの連続動作による芯ズレ対策に適してい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイテック

自律走行型搬送ロボット OTTO

最大積載量1900kgの自律走行型搬送ロボット。機体よりも大きなサイズ…

OTTOは、製造工場や倉庫内で使用する自律型移動ロボットのリーディングカンパニーです。自動車、消費財、食品、エレクトロニクスなどの企業が、OTTOの搬送ロボットを導入し、安定性の高いサプライチェーンを構築しています。 自律走行搬送ロボットOTTOシリーズは、従来のAGVのような専用のレールや通路を確保する工事などは必要なく、センサー技術によって、人や障害物を認識した上で避けて走行。フロアのレイア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジテックス

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis：720mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：20mm ■最大動作速度 ・X-axis：250°/sec ・θ-axis：220°/sec ・Z-axis：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

ロボットハンドリング時の芯ズレを解消！「FCDシリーズ」

外径φ32mmの超小型！天板がスムーズにスライドし、芯ズレによるトラブ…

ロボットハンドによるピックアンドプレース動作時に起こるエラーとして、芯ズレによる動作エラーが挙げられます。ファインコントロールディバイス(以降FCD)は、天板がスムーズにスライドする特色を活かし、ピック・リリース動作をサポート致します。上向き・下向き兼用で使用でき、エアー給気により天板のロックも可能です。 【驚きの小型化を実現！】 外径：φ32mm 高さ：28mm （インロー含まず） 自重...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイテック

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット…

■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis：500mm ・θ-axis：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン