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OPIE2024_ポジショニングEXPOに出展と製品のご紹介
PR高精度で1軸～多軸構成、高機能コントローラ、グラナイト製品などを統合し…
【OPIE 2023 ポジショニングEXPO】に出展いたします。 日時：4月24日(水)〜26日(金) 10時～17時 場所：パシフィコ横浜 ブース番号：E-32 【出展製品例】 • 6軸位置決めヘキサポッドステージ • レーザー加工や計測機などに好適なXY＋Z位置決めシステム • エアベアリング：XY軸ステージと回転ステージ • 高速高加速リニアモーターステージ • ナノメ...
メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社
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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストローク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ
特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。 テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。 内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が 実現できます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。 ...最小分解能：50nm（FC-411使用時） ：100nm（FC-...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。 ストロ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、 ストローク範囲は『100mm』となって...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ.....
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラF...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1050SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能：10nm 最大移...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 真空チャンバー内でアウトガスが発生しづらい部品などを使用しているため、真空チャンバー内にステージを配置することができます。 40mmの範囲を動作可能で「50n...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 アウトガス対策として潤滑材、線材やモーター等を真空対応品に変更しているため、真空チャンバー内で使用可能です。 20mmの範囲を動作可能で...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】サブミクロン分解能で動作範囲50mmの位置決めステージ
ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 50mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コン...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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セラミックス製 超精密測定器具【各種器具・冶具カスタマイズ可能】
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