フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

QSESの安全評価について　「Ｆ47/Ｆ42評価サービス」

どこよりも早く『電圧降下（F47/F42）試験』に対応し、対策からレポ…

QSESの安全評価について「Ｆ47/Ｆ42評価サービス」は、装置納入時の必須項目となりつつある『電圧降下（F47/F42）試験』に、どこよりも早く対応した試験評価サービスです。 半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシュミレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験を行います。 エッチャー、CVD、CMP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キューセス

SEMI F47/F42：電圧サグイミュニティ

是正対策や対策部品紹介までコンサルティング、試験が適合するまでフルサポ…

QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目と なりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、 いち早く対応し試験評価サービスを行っております。 「SEMI F47」はSEMI規格の中でEMCについて定められた規格で、中でも イミュニティ試験の項目である電圧ディップ・短時間停電について規定。 EMC法規制がない...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キューセス