フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

温水で230℃MAXまで昇温可能！温水循環装置【KCT230℃】

温水で230℃まで昇温が可能な温水循環装置です。スーパーエンプラ成形金…

◆タッチパネル採用により操作性・視認性向上 ◆MODBUS通信、SPI通信を標準装備 使用温度範囲：MAX230℃ 媒体：清水 流量：60ℓ/分　72ℓ/分 昇温効率が高く、昇温時間が大幅に短縮 高い精度と安定性を持った温水循環装置 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特長】 ○高温水循環装置 　スーパーエンプラ成形金型温調、CVD装置、各種チ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場

温水循環装置【KCTシリーズ】

高い精度と安定性を持った温水循環装置 清水を使う加熱タイプの温調機で…

◆◆タッチパネル採用により操作性・視認性向上◆◆ ◆◆MODBUS通信、SPI通信を標準装備◆◆ 使用温度範囲：MAX95℃、120℃、160℃、180℃ 媒体：清水 流量：200ℓ/分、350ℓ/分、600ℓ/分 昇温効率が高く、昇温時間が大幅に短縮 高い精度と安定性を持った温水循環装置 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特長】 ○汎用温水循環...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場

熱媒体（油）循環装置『KCOシリーズ』

最高320℃に対応！各種警報回路や専用コントローラーを搭載。高精度な温…

『KCOシリーズ』は、最高320℃の温調に対応した熱媒体循環装置です。 温度域や流量など、ニーズに応じて型式を選択いただけます。 ◆◆タッチパネル採用により操作性・視認性向上◆◆ ◆◆MODBUS通信、SPI通信を標準装備◆◆ 未然にトラブルを防ぐ各種警報回路や、アラーム機能を備えた 専用コントローラー、リモートタイマーを標準装備。 油漏れを防ぎながら、冷却水が不要な超耐熱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場