WaferSense オートティーチングシステム（ATS2)

ATS2があればウェハの受け渡し位置における確実なロボット位置調整とウ…

■カメラを使ったビジュアルな検査で、無駄なコストを掛けずにスピーディなトラブル対応が可能となります。 ■ワイヤレス、ウエハ形状で充電式 ■上下を見れる 2つのカメラを搭載 ■簡単に使えるソフトウエア、リアルタイムに状況を確認可能...・センサー厚み3.5mm, ウェハ直径200mmと300mm。第一世代ATSで通過出来なかった箇所にも実装する事が可能です。 ・上下中央2ヶ所のカラーのカメラ...

メーカー・取り扱い企業： JFE 商事エレクトロニクス株式会社