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ウエハーセンス サイバーオプティクス製 製造装置改善用測定センサ
ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効…
ウエハーセンス(サイバーオプティクス(CyberOptic) 社)のはプロセス装置の調整を効率良く行う便利な測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行う事が可能です。ワイヤレスでウエハライク形状、真空中でも使えるので、誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。ロボットティーチングを行うカメラウエハー、シャワーヘッド調整を行うギャップ測定ウエハー、さまざまな装置...
メーカー・取り扱い企業: JFE 商事エレクトロニクス株式会社
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QIII SM (0.3μm以上)、QIII ST (0.1μm以上)…
■ 測定プローブを表面に置き、吸引してパーティクル測定するだけ。 ■ 精密洗浄パーツの出荷前・受入時の品質確認 ■ 各種製造装置のクリーン維持管理 ■ クリーン化が求められる試料表面の洗浄度検査 ■ パーティクルに起因したトラブルの低減 ■ 表面洗浄度管理・定量化 ■ 各種装置メンテナンス回数の低減 ...Pentagon Technologies 社が提供するQIII 表面パーティ...
メーカー・取り扱い企業: JFE 商事エレクトロニクス株式会社
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