蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

半導体製造装置用サファイアカスタム品のご提案【技術データ進呈】

PRどんな複雑なサファイア加工依頼にも挑戦します。1個からでもお気軽にお問…

創業77年の老舗サファイア製造メーカーです。 サファイアの大型結晶を自社で育成しているため、1mm以下の微細な製品から 写真のような300mm程度の大型窓の製作も可能です。 設計段階からお客様のご要求に寄り添い、品質的／コスト的に最適なカスタム製品を共に作り上げていくことが得意です。 1個からのお問い合わせも歓迎しておりますので、ご遠慮なくお問い合わせください。 切断、研削、研磨といった基本的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社

インライン型膜厚計の分析例

インライン型膜厚計の分析例について紹介します。

果、 ○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで 　補正が可能であることがわかりました。 ○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr は、1nm 以下と 　高感度で得られました。 ○測定精度は静的精度及び動的精度ともCV=5%以下であり、極薄膜を高感度で 　測定することが可能でした。 ○以上から、...

メーカー・取り扱い企業： アワーズテック株式会社