- 製品・サービス
5件 - メーカー・取り扱い企業
企業
8件 - カタログ
139件
-
-
半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度
Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、...
メーカー・取り扱い企業: Temposonics
-
-
・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
ッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
-
-
450mmウェーハ搬送システム
O S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
-
-
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
-
-
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
- 表示件数
- 15件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。