イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

PRR＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約…

当社で取り扱う、「イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)」を ご紹介いたします。 標準的なエントリーモデルから、膜厚均一性等の精密な制御が可能な ハイエンドモデルまでラインアップ。企業、アカデミアでの研究開発向けに、 グローブボックス付属等の特殊仕様にも対応します。 また、R＆Dのラボスケールから量産まで対応し、難エッチング材料のエッチング プロセスや、デュアルイ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ミストシステム導入のご提案

PR温度対策や湿度管理が可能！噴霧エリアの気温をおよそ2～4℃低下させる効…

『ミストシステム』は、微細霧(ミスト)の気化熱を利用して気温を下げたり 加湿したりする自然に配慮した製品です。 高圧ポンプを利用してミストノズルから空中に大量のミスト粒子を噴霧し 水が蒸発する時に空気中の熱量を奪うことによって気温を下げます。 間欠運転やセンサーによる監視である程度の温度管理や湿度管理も可能。 ミスト粒子を空気中に放出すると空気中の熱を奪い対流を起こすと共に ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社洲本整備機製作所

ホロカソードエッジング方式アークイオンプレーティングシステム

TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適！

ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー