リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

イオン注入でお困りの方必見！注入受託サービス

半導体から医療まで様々な製品への注入が可能！ Si,SiC,GaN等…

弊社のイオン注入サービスは装置を多数所有しているため、多種多様なニーズにお応えすることが可能です。 【特徴】 ・約60種の多様なイオン種に対応 ・小片から300mm（12インチ）まで幅広いサイズに対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【Q&A】イオン注入・分析のよくあるご質問

イオン注入・分析のよくあるご質問をQ&A形式でご紹介しています

イオンテクノセンターは、先端材料へのイオン注入サービスを行っております。 資料では、イオン注入・分析のよくあるご質問をQ&A形式でご紹介。 「イオン注入とは？」をはじめ、「アモルファスとは？」や 「サンプルなどの情報の機密保持は？」等、様々なご質問にお答えしています。 【掲載内容（抜粋）】 ■Q.イオン注入とは？ ■Q.イオン注入できるサンプル、ウェハの大きさや種類を教えてくださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【技術資料】6フッ化リン酸リチウムに含まれる微量陽イオンの測定

【IC：イオンクロマトグラフィー】二次電池(バッテリー)電解質に使われ…

イオンクロマトグラフィーにより、二次電池（蓄電池）の電解質として使われている6フッ化リン酸リチウム（LiPF6）に含まれる微量陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。 陽イオンの連続サプレッション後、電気伝導度検出器検知により、サンプル中に含まれる微量陽イオンを測定。 「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。 【掲載内容】 ■カラム ■溶液 ■分析...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

スタンプ式めっき処理装置

環境負荷低減への貢献が可能な装置です

現在主流となっている一般的な工法としての電気めっきとは、めっき浴の中に電極と製品を入れ電流を流すことによりめっき液内の金属イオンが陰極へと移動し金属が析出します。 製品ならびに電極をめっき浴内に浸す為、浴槽は大きくなりめっき液の使用量も多くなります。 スタンプ式めっき工法（SED工法）では、必要な部分に固体電解質膜...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

ウェハー搬送システム『プロトスキャリア』

半導体ウェハーをコンパクトに梱包。薄ウェハーも安全に搬送可能。ANSI…

ハーケース／ウェハー容器『プロトスキャリア』は、半導体ウェハーを安全かつ効率的に搬送できる製品です。 当社が培ってきたウェハー搬送のノウハウを基にデザインした梱包容器、 低パーティクル・低イオン素材を用いたスペーサー及び緩衝材を使用。 全ての材料に静電気対策が施されており、ANSI／ESD S541規格にも対応しています。 テストウェハーなどの小LOTからお客様のウェハー搬送...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部

【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

ppmオーダーの微量金属も評価可能です

各種材料の特性を設計・制御するにあたって、母材に微量含まれている元素の種類や量、またそれらの存在状態を明らかにするのは非常に重要です。このうち元素の種類や量に関してはSIMS(二次イオン質量分析法)やICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析法)などによって評価可能ですが、価数・化学結合状態などといった存在状態の評価には放射光を用いたXAFS(X線吸収微細構造)測定が有効です。本資料...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術シリコンウエハー基板とファウンドリーサービス

100-200mmの貼付ウエハー（SOI,SiSi）や誘電体分離や高ア…

弊社の専門技術に、ウエハーの貼り付けWafer Bonding、深掘り反応性イオンエッチング　Deep Reactive Ion Etching(DRIE)、そしてウエハー研磨があります。 このDRIEを使ってトレンチエッチと埋め込みサービスをバルクシリコンやSOIウエハ...

メーカー・取り扱い企業： アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

自動式超音波洗浄装置

～洗浄から乾燥まで精密な洗浄を～

波のムラに関係なく、しっかりと洗浄を行います。 ●各槽毎に洗浄される槽とは別にリザーブタンクが設けてあり、 　オーバーフローした洗浄液はフィルタで濾過します。 ●求められる精度では、すすぎにイオン交換樹脂による純水を採用致します。 電気伝導率測定器を装備する事で純水精度も管理出来ます。 ●乾燥は、エアーノズルは上下に動く為、水滴を満遍なく飛ばしつつ、ミストレーサーで室内をカラっとした状...

メーカー・取り扱い企業： 日伸精機株式会社 事業本部