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PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…
『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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PR研磨加工、ガラス加工、セラミック加工など粉塵環境下の使用に威力を発揮
〇特殊シールとエアパージにより本体内への切粉、研磨粉などの粒子の侵入をシャットアウト 〇エア消費量の小さいパージ構造 (0.3L/min) 〇発熱の小さいシール構造 〇長寿命シール 〇シール部の清掃交換が容易な構造 〇コンパクトな胴厚 〇特許出願済...★炭化ケイ素とアルミナを混濁させたスラリー内で100万サイクル*の耐久試験をクリア * 1サイクルは 正転180°→ 正転180...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社北川鉄工所
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0~20 sccm/minの微小から0~500slm/minの大流量レ…
マクミラン社のマスフローメータ50シリーズは、クリーンでドライな気体を0~20sccm/minのような小さい流量から0~500sLm/minのような大きな流量まで、計測精度±1.5%FSで14種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ(特許)を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはN...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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15mL~10L/minまで精度良く計測出来る流量センサです。 PT…
モデル106は低粘度の液体を15mL/minの低流量から10L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。 標準の接続はPFAタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケー...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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