- 製品・サービス
16件 - メーカー・取り扱い企業
企業
2件 - カタログ
11件
-
-
-
フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
-
プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪
有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪…
Siやカーボン膜の受託エッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪ 一週間～レンタル可能で研究開発をスピーディーにサポート致します！ 初回条件出しやデモ処理は無償対応。... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
-
-
-
-
有機・無機問わず高いエッチング効果！
Siやカーボン膜のエッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg ガス系 マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
-
-
-
-
プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。 ウエハサイズ50〜200mm（2〜8インチ）、BGA・CSP等に対応しており、プラズマモードは、オペレーションパネルでDPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。また、搬送ユニットの後付けが可能な為、実験・研究施設等...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
-
-
-
-
枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）
枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。 ウエハサイズ6インチ、8インチに対応しています。...本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォト...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
-
-
-
-
ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…
です。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ...
メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社
-
-
-
-
プリント配線板やフィルムなど薄板材の表面を一括で均一に梨地加工な物理的…
幅610mm以下、厚さ0.2 ～ 2.0mm までのプリント配線板などの薄板材表面の精密物理洗浄をおこなう表面処理装置。 薄板材両面を均一に処理し、水洗、水切り乾燥までを連続自動処理可能。プリント配線板の洗浄、異物・酸化膜除去、デスミヤ、表面粗化、エッチングなどに使用可能。 ...•幅広ガン630mmを使用し、処理幅610mm以下までの薄板材の処理が可能。 •ワーク両面の処理が可能。 •...
メーカー・取り扱い企業： マコー株式会社
-
-
-
-
基板を回転させながらエッチング液をスプレーするスピンエッチャー
対象基板を回転させながらエッチング液をスプレー塗布するスピンエッチャーです。...
メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
-
-
-
-
【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム
イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…
リウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ■エッチ...
メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
-
-
-
-
温度管理、廃液選択機能が搭載！多目的処理装置
温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== ＜仕 様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ エッチング液…酸、アルカリタイプ オプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等 電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2M...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ
-
-
-
-
フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。
しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ○スピンエッチャー ○フォトマスク用プロセス装置 他 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブルジャパン
-
-
-
-
フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
め】 ◎R＆D、研究室にラボスケールのコンパクトな装置が必要な方 ◎1台で成膜・エッチングとマルチに使用可能な装置をお探しの方 ◎故障解析等のための難しいプロセスに対応可能なハイスペックなエッチャーをお探しの方 【仕様】 ・サイズ：W ～800mm x D 1700mm x H 1500mm（本体・標準、構成によって異なる） ・ガス配管：最大12ライン（プロセスガス11ライン+パ...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
-
最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。
【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク
-
-
-
-
真空装置の受託開発承ります！
【受託製造事例】 ◆300Φメタライゼーション装置 ◆凍結真空乾燥装置 ◆有機ELディスプレイ製造装置 ◆銅配管スパッタ装置 ◆ドライエッチャー ◆有機薄膜形成装置 ◆真空排気装置 ※詳細はお問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス
-
-
-
-
簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…
用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。...スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...
メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
-
-
-
-
50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…
高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。...
メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社
-
-
-
-
中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサ…
半導体製造装置の中古装置を売買しております。特にコーターデベロッパー、ＣＶＤ装置、エッチャー等は在庫もしております。中古装置は現状有姿渡しから改造、立ち上げ業務迄の一貫したソリューション等、ご要求内容に応じたご提案が可能です。国内でも多数の実績がございますのでお気軽にお問合せ願います。...
メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社
-
- 表示件数
- 30件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
