フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット＜テスト受付中＞

PR安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリアランス…

当社は、紙からチタンまで様々な素材を加工する 技術と製品を有し、多岐にわたる事業を展開しています。 主力製品の1つとして製造を手掛ける「ロータリーダイシリンダー」は、 高精度マシニング加工と独自製法により、安定した切れ味と長寿命化を実現。 印刷、食品包装、医薬品包装、電池、半導体製造など 幅広い分野で採用されており、お客様の生産性向上に貢献しています。 また、本製品を搭載した「...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三條機械製作所

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

表面電気抵抗測定器　(DVS 2929準拠品)

ドイツ溶接技術協会のDVS 2929に準拠したテストシーケンスで測定可…

ツSchuetz（シュッツ）社の抵抗測定器の1つです。電極を試験材に所定の圧力で押し付けた状態で、試験材の表面接触電気抵抗値を測定します。 自動車や航空業界向けアルミ・アルミ合金材料・パネルのエッチング工程後の溶接性や表面処理の評価に最適です。 サンプルに電極を押し付ける圧力、抵抗測定時間は可変です。 アルミ以外の材質の表面接触抵抗値の測定も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

イオンエネルギー測定器

エッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます…

検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。 プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。 - イオンエネルギー分布 - イオンフラックス - イオンカレント - エレクトロンフラックスとエネルギー ...・検出プローブは電極/基板ホルダーに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー