エッチング | イプロスものづくり

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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...
メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
サファイア基板エッチング用石英バス　ＡＣＣＵＢＡＴＨ®　Ｘｅ

サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス最高300…

Accubath®　Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒロテック東京営業所
光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源　AC100～240V（5...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
ウェットプロセス装置　K-150/200

ウェットプロセス装置　K-150/200 （塗布、現像、エッチング、…

「K」シリーズは新技術・新機能。新ワークへのアップグレードがより簡単・低コストで実現出来る拡張型ウエットプロセッサーです。レジスト塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄と、ウエットプロセスであればどの様な仕様でも製作可能です。必要とされる機能をお客様との御打合せで作り上げていきますので、過剰スペックではなく、低コストで最適な装置をご提供致し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場
フレキシブル基板剥離剤の比重モニター

アルカリ液、エタノールなどのを混合した剥離液の比重を高性能密度計で連続…

フレキシブル基板 :FPC(Flexible Printed Circuits) のエッチング処理中の剥離工程におけるエタノール（アルコール）や、アルカリ水溶液の比重を測定し、制御信号を出力します。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン
【開発事例】生産設備制御

半導体製造装置や電子部品実装機関連など！開発経験を活かしお客様のニーズ…

【その他の設備開発事例】＜半導体製造装置＞ ■成膜装置、エッチング装置、洗浄装置・各装置開発の中で、プロセス制御、搬送制御、GUIなど幅広く担当＜フラットパネルディスプレイボンダー＞ ■スマートフォン、タブレット、ノートPC、車載などの液晶パネル...

メーカー・取り扱い企業：ユニバーサルコンピューター株式会社
Honeywell製　圧力センサー　HSCシリーズ　デジタル出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテクソリューション
ハネウェル製　微圧センサー　HSCシリーズ　デジタル出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテクソリューション
Honeywell製　圧力センサー　HSCシリーズ　アナログ出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテクソリューション
ハネウェル製　微圧センサー　HSCシリーズ　アナログ出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテクソリューション