フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

エネルギー『マイクロ波』

食品加工・電機業界や先進医療・製薬業界など！新エネルギーをご紹介

性などの特長が備わっている エネルギーです。 電子レンジの場合、食品加工・電機業界では、きめ細やかな制御が 可能なため温めたい物のみ加熱することが可能。 半導体製造装置のプラズマエッチングの場合は、低い入射イオンエネルギー で損傷の少ない垂直エッチングを行うことができます。 【特長】 ■長寿命 ■高い安定性 ■コンパクト ■細やかな制御 ■高純度 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： アイ電子株式会社

Enercon社の表面処理システム

プラズマ及び火炎処理技術で各種 材料表面を活性化 プラズマ処理対象物…

多くの場合、表面は表面エネルギーが低く、正常な接合を妨げる障害を示すためには処理が必要です 。 プラズマ及び火炎表面処理は、有機および無機の表面汚染物質を除去して表面を清浄にし、表面をマイクロエッチングして追加の表面結合部位を作成し、表面を活性化してより強力な結合を作成します。 ...

メーカー・取り扱い企業： ザ・ブルーボアハウス株式会社

【書籍】接着耐久性の向上と評価

実用レベルの製品に不可欠な「耐久性」…接着技術におけるその要点とは？

とは？ 　→環境的因子・応力的因子・複合因子 ◎表面処理と接着耐久性 ・コロナ放電処理・大気圧プラズマ処理・UVオゾン処理・有機系表面処理（各種カップリング剤）・ 洗浄・ブラスト法・エッチング・他・自己組織化単分子膜 　→これら表面処理法の接着耐久性に関する影響は？ ◎接着剤と接着耐久性 ・接着剤の劣化機構と接着耐久性への影響は？ 　→アクリル系・エポキシ系・シリコーン系...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社情報機構

プラズマ関連製品　RFプラズマ源 ERFS-501

ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、…

プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。...【特徴】 ○ビューイングポート付により放電が目視確認できます。また、高精度のプラズマ分光等が可能です。 ○自動マッチング機構により、操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。 ○空冷仕様になっており...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社