フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット＜テスト受付中＞

PR安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリアランス…

当社は、紙からチタンまで様々な素材を加工する 技術と製品を有し、多岐にわたる事業を展開しています。 主力製品の1つとして製造を手掛ける「ロータリーダイシリンダー」は、 高精度マシニング加工と独自製法により、安定した切れ味と長寿命化を実現。 印刷、食品包装、医薬品包装、電池、半導体製造など 幅広い分野で採用されており、お客様の生産性向上に貢献しています。 また、本製品を搭載した「...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三條機械製作所

エネルギー『マイクロ波』

食品加工・電機業界や先進医療・製薬業界など！新エネルギーをご紹介

性などの特長が備わっている エネルギーです。 電子レンジの場合、食品加工・電機業界では、きめ細やかな制御が 可能なため温めたい物のみ加熱することが可能。 半導体製造装置のプラズマエッチングの場合は、低い入射イオンエネルギー で損傷の少ない垂直エッチングを行うことができます。 【特長】 ■長寿命 ■高い安定性 ■コンパクト ■細やかな制御 ■高純度 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： アイ電子株式会社

Enercon社の表面処理システム

プラズマ及び火炎処理技術で各種 材料表面を活性化 プラズマ処理対象物…

多くの場合、表面は表面エネルギーが低く、正常な接合を妨げる障害を示すためには処理が必要です 。 プラズマ及び火炎表面処理は、有機および無機の表面汚染物質を除去して表面を清浄にし、表面をマイクロエッチングして追加の表面結合部位を作成し、表面を活性化してより強力な結合を作成します。 ...

メーカー・取り扱い企業： ザ・ブルーボアハウス株式会社

【書籍】接着耐久性の向上と評価

実用レベルの製品に不可欠な「耐久性」…接着技術におけるその要点とは？

とは？ 　→環境的因子・応力的因子・複合因子 ◎表面処理と接着耐久性 ・コロナ放電処理・大気圧プラズマ処理・UVオゾン処理・有機系表面処理（各種カップリング剤）・ 洗浄・ブラスト法・エッチング・他・自己組織化単分子膜 　→これら表面処理法の接着耐久性に関する影響は？ ◎接着剤と接着耐久性 ・接着剤の劣化機構と接着耐久性への影響は？ 　→アクリル系・エポキシ系・シリコーン系...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社情報機構

プラズマ関連製品　RFプラズマ源 ERFS-501

ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、…

プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。...【特徴】 ○ビューイングポート付により放電が目視確認できます。また、高精度のプラズマ分光等が可能です。 ○自動マッチング機構により、操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。 ○空冷仕様になっており...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社