【サンプル進呈】5μm微細・極薄・極小のエッチング加工をお手元に

PR毎月先着50社限定｜短納期、小ロットから対応の「エッチング加工」サンプ…

エッチング加工をご希望の企業様向け！ 毎月先着50社様限定で、ケミカルプリントが誇る技術を詰め込んだ無料サンプルを進呈致します！ 切削加工や機械加工に比べ、エッチング加工は加工精度が高く、 また、ケミカルプリントなら短納期・小ロットから対応が可能です。 サンプルご希望の企業様はイプロスもしくは、下記お問い合わせからとご連絡くださいませ。 https://www.chemical-print.c...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケミカルプリント

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

プラズマ装置(表面改質・エッチング・成膜)のレンタル・受託処理

今なら無償デモ中！各種プラズマ装置のレンタルや受託処理を承ります(7日…

表面改質(洗浄・表面改質・親水化・接着強化)やエッチング・製膜に 優れた各種プラズマ装置のレンタル・受託処理・研究・開発など様々 なニーズにお応えしております。 プラズマ表面処理は、素材の表面に独自の個性をもたせ、製品の高機能化、高付加価値化を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』

ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシン…

『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。 レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、 用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を 基材表面に強固に付与することができます。 本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース

電荷を持たない中性ビームを生成。 英国オックスフォードアルライドリ…

ビームを中性化することで、これまで電荷粒子が問題になっていた誘電体や半導体への照射やエッチングプロセスにも最適です。 ≪用途≫ ■成膜前の基盤クリーニング ■常温接合前のサンプルクリーニング、表面の活性化 ■半導体基板等のエッチング ■微細加工 ■リアクティブアトムビー...

メーカー・取り扱い企業： 三和真空株式会社

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

ご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8，12インチ用装置も設計可能 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

『各種真空成膜装置』

ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います

す。 当社では、ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置の カスタマイズ製作を行います。 HIPIMS法による成膜を行う「ICF成膜装置」をはじめ、半導体プラズマ洗浄用 プラズマエッチング装置「NAPE500」などをご用意しております。 【ラインアップ】 ■ICF成膜装置 ■プラズマエッチング装置「NAPE500」 ■パルスバイアス実験装置「ICF330」 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

スの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。 Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。 主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システム...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JI...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置 　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉／真空蒸留装置／自動ヘリウムリークテスト装置 ○熱処理機器／熱測定機器 ○その他製品 ○真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

レーザーシーラー【シール材による接合・貼合せプロセス不要】

2枚のガラスをCWレーザにて内面のみ溶着一体化（接合・貼り合せ）！従来…

不要となります。 デメリットにもなる可能性もありますが完全な一体化となる為、 ■「外部起因影響の完全遮断」・「内部の密閉化」の目的に対して最適な技術です。 【用途例】 LCDケミカルエッチングプロセスのLCD基板外周シールや、OLEDのシールプロセスにお勧めです。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 共栄制御機器株式会社

振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）...サイズ: DN 250mm アクチュエータ: サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 標準フランジ: ISO-F、JIS...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

【取り扱い製品】 ○イオンビームエッチング ○イオンビームスパッタリング ○イオンスパッタリング ○インライン型スパッタリング装置 ○光学薄膜成膜装置 ○ガスクラスターイオンビーム装置 ○加速中性原子ビーム装置 ○円形スパ...

メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社

クライオポンプ総合カタログ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！

【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社