エッチング | イプロスものづくり

PR毎月先着50社限定｜短納期、小ロットから対応の「エッチング加工」サンプ…

エッチング加工をご希望の企業様向け！毎月先着50社様限定で、ケミカルプリントが誇る技術を詰め込んだ無料サンプルを進呈致します！切削加工や機械加工に比べ、エッチング加工は加工精度が高く、また、ケミカルプリントなら短納期・小ロットから対応が可能です。サンプルご希望の企業様はイプロスもしくは、下記お問い合わせからとご連絡くださいませ。 https://www.chemical-print.c...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケミカルプリント

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ボンディング性評価のためのシリコンエッチング技術

ワイヤーボンディング部の接合面を平面から観察！数値による評価が可能とな…

一般的な断面観察では、金属間化合物の生成状態をある1点でしか確認できず、評価の裏付けとしては弱さの残るものでした。クオルテックでは、ボンディングされた箇所の裏面からシリコンをエッチング する事で、金属間化合物の生成状態を、より明確に観察する技術を開発。金属間化合物の面積を算出し、数値による評価が可能となりました。【特長】 ■ワイヤーボンディング部の接合面を断面...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

エッチング処理による金属間化合物の観察例

奥方向と表面から化合物の状態を観察！加⼯、前処理、観察⼿法や組み合わせ…

疑問に思われたことはありませんか。当資料では、Cuパッドとはんだの接合部の観察例をご紹介。「断面観察」と「平面観察」を掲載しております。【掲載内容】 ■断面観察　・エッチング処理前　・エッチング処理後 ■平面観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。【目次】１. はじめに２. エリプソメトリーについて３. PVA膜スピンコート直後の経時変化４. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価５. お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

。通常、有機付着物の除去にはArイオンスパッタを用いますが、スパッタによるダメージにより膜本来の組成,結合状態が評価できない場合があります。Arイオンスパッタを使用せず、表面酸化層をウェットエッチングを用いて除去することで、有機付着物由来のCの影響を低減させた例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析

圧着端子の接合部状態や接合方法、部材の種類を調査！断面観察及びSEM/…

『銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析』についてご紹介いたします。抵抗測定用銅圧着端子治具の接合部について断面作製を実施し、作製した断面にケミカルエッチングを施し、エッチング前後で金属組織を観察。その結果、検出元素が、P(リン), Ag(銀), Cu(銅)であることから、銀入りのりん銅ロウ付け材であると推察します。 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

実装部品接合部の解析

機械研磨法に化学エッチング、イオンミリング、FIB加工を施すことにより…

■基板接合部機械研磨　＋化学エッチング 　＋イオンミリング　光学顕微鏡、SEMによる観察 ■FIBによる断面作成　SEMによる観察...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射して発生した二次電子を検出するSIM像により、試料の加工形状を認識できます。・微小領域（数nm～数十μm）のエッチングによる任意形状加工が可能（通常加工サイズ：～20μm程度）・SEM・SEM-STEM・TEM像観察用試料作製（特定箇所の断面出しが可能）・微細パターン（数μm～数十μm）のデポジショ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託成膜・受託分析

各種成膜・表面処理・塗布加工や、受託測定のことなら当社へお任せください

アイゲート株式会社は『受託成膜・受託分析』を承っております。「受託成膜」では、Si、ガラス、フィルムなどの真空成膜加工が可能なほか、 エッチングや表面処理、塗布加工にも対応。また「受託分析」では、高性能水蒸気・ガス透過率測定装置を使用した受託測定を致します。【受託分析詳細】 <水蒸気・ガス透過率測定> ■測定装置...

メーカー・取り扱い企業：アイゲート株式会社本社

【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響

XPS： X線光電子分光法

XPSは試料表面(数nm程度の深さ)の組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。但し、スパッタエッチングを伴う評価ではXPSの原理及び測定機構から、吸着酸素の影響を受けて酸素量が本来の組成より過大評価される場...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です

水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。 Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC（イオンクロマトグ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

3D顕微鏡　3Dプリンターの製品確認

3Dプリンターの製品確認　材料学も3Dの時代へ！　組織観察過程を全自動…

さまざまな材料にも適用できる3D顕微鏡です。コンピュータ制御により、組織観察、研磨機、洗浄、エッチングを繰り返し全自動で行え、高効率で　3D組織像　が得ることができます。従来、手動で繰り返し行っていた機械研磨と光学顕微鏡観察を全自動化することで、数ヶ月要していた作業を1日で終わらせること...

メーカー・取り扱い企業：株式会社中山電機

技術資料『金属組織観察入門』

ユニケミーがどのように金属組織観察を行っているかを紹介した技術資料

【掲載内容概要】 ■はじめに ■概要　・組織観察作業フロー ■金属組織観察方法　・試料の切出し　・包埋　・研磨　・エッチング・組織観察 ■具体的な組織観察の例　・試料の準備　・試料の包埋　・研磨　・エッチング・組織観察 ■おわりに ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニケミー

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

微小異物分析のためのサンプリング技術

エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物について、各種サンプ…

■多層膜中異物の特殊サンプリング技術・基板上金属膜に埋もれた異物　金属膜エッチング⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析・多層薄膜中の異物　表面層の切り取り⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析　ミクロトーム/FIB　薄片化⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

ロックイン発熱解析法

ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します

・IR-OBIRCH機能も合わせ持ち、発熱箇所特定後、IR-OBIRCH測定により、故障箇所をさらに絞り込むことができます。・赤外線を検出するため、エッチングによる開封作業や電極の除去を行うことなく、パッケージのまま電極除去なしに非破壊での故障箇所特定が可能です。・ロックイン信号を用いることにより高いS/Nで発熱箇所を特定でき、Slice ＆ V...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EBSDによる焼入れ組織の定量評価

EBSDにより焼入れ組織の定量評価が可能です。

トとオーステナイトの間には特定の結晶方位関係があります。したがって、マルテンサイトの結晶方位測定結果からオーステナイトを再構築することで、旧オーステナイト粒径を測定出来ます。この手法はエッチング困難な材料に対しても有効な手法です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大同分析リサーチ

【分析事例】結晶Si太陽電池の不純物評価

金属元素および大気成分元素の極微量分析

量制御のための評価法として、高感度分析による元素濃度測定をご提案します。金属元素はppb以下、Hを含む大気成分元素についてはppm以下の濃度まで計測可能です。測定法：SIMS・ICP-MS・エッチング・解体製品分野：太陽電池分析目的：微量濃度評価・製品調査一行開けて「詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】HF処理前後における骨の状態評価

ラマン分析を用いた薬液処理前後の状態評価

HF（フッ化水素）は、SiO2のウェットエッチング処理等で広く用いられており、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な役割を果たします。しかし、一方で皮膚に触れてしまうと浸透し、骨を侵してしまうため非常に危険な薬品であり取り扱いには注意が必要です...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】IC法による溶液中の有機酸の分析

溶液中の有機酸の定性・定量分析が可能です

クエン酸やリンゴ酸などの有機酸は半導体分野においてエッチング液やメッキ液の添加剤として、また食品中の酸味剤・乳化安定剤として、化学工業・医薬・食品などの分野で幅広く利用されています。特にメッキ液中の有機酸濃度は、使用の過程でバランスが随時変化し、この...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング

表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です

ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで評価した例を示します。結果より、有機多層膜は四層で構成されていることが分かりました。また、ライ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ＰＶ（太陽電池）各種評価事例集

太陽電池（ＰＶ）の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

キャリアの分布評価 →測定法：SIMS・SCM・研磨・解体 ○CIGS薄膜の組成分布分析 →薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能 →測定法：SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング ○CIGS薄膜太陽電池へテロ接合界面の観察 →超高分解能STEMによるCdS/CIGS接合界面高抵抗層の結晶構造評価 →測定法：TEM ○Ｘ線によるＺｎ系バッファ層の複合評価 →組成...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

金属表面処理品の表面及び断面の観察と分析サービス

観察から始まり分析まで問題解決のお手伝いをいたします！

。しかし、表面に異物が付着するとそれら機能に問題が発生します。当社では、金属表面処理加工品などを表面及び断面から観察分析を行っています。さらに断面をArガスによるスパッタエッチングすることでめっき皮膜の結晶を観察することができます。表面処理の異常でお困りが有りましたら御連絡ください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社環境アシスト

【分析事例】XPSによるμmオーダーの深さ方向分析

数μmの深さまで深さ方向分析を行います

XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。本資料ではターボ分子ポンプの羽...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPS・AESによる深さ方向分析の比較

XPS：X線光電子分光法　AES：オージェ電子分光法

XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能となります。深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分けることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201911-02 バイオイメージングへの取り組み

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

oSIMS ６．おわりに【図表】図１～図14 ラット肝臓のMALDI-MSイメージングイオン化支援基板を用いたMSスペクトル、LDI-MSイメージングラット小脳・毛髪のイオンエッチングのTOF-SIMSイメージングマウス脳および脊髄のLA-ICP-MSイメージング毛髪断面・免疫染色したマウス神経線維ののNanoSIMSイメージング...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター

【資料DL可：FIB】FIBによるナノレベル高精度加工

FIB装置によりSi基板上に”マスクレス”でナノレベルの加工を狙った位…

FIB(Focused Ion Beam：集束イオンビーム)装置のエッチング加工でマスクレスで任意形状作成できます。この事例ではでは以下サイズで50nmステップ毎のピラー作製を紹介しています。・円形：φ5μm ・ピラーの高さ：700nm/650nm/600...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社

【資料DL可：FIB】FIB装置によるSi基板へのパターン描画

FIB装置でシリコン基板上に高精度のパターン形成を行えます。マスクレス…

FIB(Focused Ion Beam：集束イオンビーム)装置ではマスクレスで任意形状のパターン描画(パターン形成)を行うことが可能です。・エッチングによるパターン描画では、1ドットあたり0.1μm程度の大きさで描画が可能です。（加工を行う材質、加工条件により最小サイズは変わります）・マスクレスでイオン注入を行うことが可能です。・ ...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社

【画像解析事例】二相ステンレス鋼のフェライト量測定

高コントラスト化で画像解析が可能

画像解析は、光学顕微鏡や電子投影機などで取り込んだデジタル画像をコンピュータ処理して、粒子の数や面積、長さなどの測定を行う手法です。当社では、エッチング方法を工夫することで、二相ステンレス鋼のフェライト相だけに着色を施し、高コントラスト化することで画像解析によるフェライト量測定を実現しました。点算法によるフェライト量測定と比べて短納期で...

メーカー・取り扱い企業：コベルコ溶接テクノ株式会社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などにこの2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

XPS角度分解法による薄膜層の深さ方向分析

非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能！分析事例もご紹介いたし…

との角度を変えることにより、光電子の検出深さを変えることが可能。これより得られたデータをシミュレーションにより数値的に解析し、深さ方向のプロファイルに変換します。通常のイオンエッチング法では測定が困難な表面付近nmオーダーの、均一な薄膜の深さ方向分析を実現します。 HDD磁気面の深さ方向を分析した事例もございます。【特長】 ■非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析

薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能

ついて、ICP-MSで高精度に定量した事例、SIMSで深さ方向に濃度分布を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。測定法：SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング 製品分野：太陽電池分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・膜厚評価・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST