エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

【事例集*半導体用途】高圧 ダイヤフラム ハイドラセルポンプ

【従来ポンプでお困りの方必見！】エッチング処理で発生する酸性廃棄物の中…

全世界のあらゆる産業で40年以上の使用実績を持つハイドラセルポンプは、高圧ポンプでありながら、ダイヤフラム式の強みであるシールレス構造を特長とし、従来ポンプでは困難であった用途でも安心してご使用可能です。 エッチング工程で発生する酸性廃棄物の中和処理などの定量・薬注用途のPシリーズやサファイア加工時のクーラント送液および純水洗浄向けGシリーズなど、用途に合わせた豊富なバリエーションをご用意。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

洗浄装置「ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機」

溶剤1液から2液式まで、多種に対応することができる洗浄機

ヴァリアス社製の「ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機」は、 揺動、エレベータ付きに対応（モーター、シリンダ式）。 下限で超音波洗浄(水切り)、中間で蒸気洗浄、上限で乾燥処理をします。 オプションには専用チラーユニットをご用意。 ご要望に対応した装置を設計製作します。 【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

半導体向け装置「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」

外装SUSは仕様！CR内に対応した洗浄装置、剥離装置

ヴァリアス社製の「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」は、 多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載。 処理能力に対応した自動搬送型で、剥離液にはリークの無い配管を使用。 ポンプもシールレス採用しています。 【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応 ○装置内はFFU搭載も可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【取...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社