エッチング液 | イプロスものづくり

アルミエッチング液『混酸Alエッチング液』

微細加工が可能なAl用エッチング液！

『混酸Alエッチング液』は、ガラスやSi 基板を侵すことなく、微細加工が可能なAl用エッチング液です。 Mo、Mo合金エッチング液としてもご使用いただけます。【特徴】 ■希釈、調合不要であり、そのまま使用...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

積層膜エッチング液『KSMFシリーズ』

Ti/Al/Ti積層膜のウェットエッチングが可能なAl積層膜エッチング…

Al積層膜を一液で処理可能なエッチング液です。これまでウェットエッチングが困難だったTi/Al/Ti積層膜にも適用が可能です。【特徴】 ■Ti/Al/Ti積層膜やMo/Al/Mo積層膜を一括でエッチング可能 ■KSMF...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

銅エッチング液『GHP-3』『BTF-3』

表面粗さの小さい仕上がりが得られるCuエッチング液

■GHP-3:　Cu選択エッチング液 ■BTF-3:　Cu/Ti積層膜エッチング液 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

透明導電膜エッチング液(ポリ向け)『ITOシリーズ』

型番によりCuダメージの抑制が可能な低抵抗ポリITO膜エッチング液！

『混酸ITO-02』は、FPD 製造プロセスにおける低抵抗ポリITO 電極等の高精細パターニングが可能なエッチング液です。また、『ITO-301』は、Cuダメージを抑制し、低抵抗ポリITO電極等の構成パターニングが可能なエッチング液です。【特徴】 ■低抵抗ポリITO 膜のエッチング加工に使用可...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

チタンエッチング液『TIシリーズ』

各種金属材料との選択エッチングが可能なチタンエッチング液

CuやAu電極のバリア層や密着層の除去において、Tiの選択的なエッチングが可能です。【特徴】 ■TI-8Aは各種金属との選択エッチングが可能であり、TiNやTiWのエッチング液としても使用可能 ■TI-101は過酸化水素水を使用せず、CuやAgとの選択エッチングが可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

クロムエッチング液『Crシリーズ』

サイドエッチングの少ないパターニングが可能なクロムエッチング液

水晶振動子やMEMSセンサーなどの電極材料、フォトマスクに使われるCr薄膜に対応したエッチング液です。【特徴】 ■サイドエッチングの少ないパターニングが可能 ■Cr-301はエッチングレートが極めて低いため、Cr膜の膜厚調整などに適しています。 ※詳しくは、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

透明導電膜エッチング液(アモルファス向け)『ITO-07N』

SiO2、SiNxなど様々な下地膜に対しエッチング残渣無く加工可能なI…

『ITO-07N』は､FPD製造プロセスにおけるアモルファスITO､IZO 等の高精細パターニングが可能な透明導電薄膜エッチング液です。【特徴】 ■アモルファス ITO､IZO 等のパターニングに最適 ■サイドエッチングが少なく､高精細なパターンニングが可能 ■低発泡性で、破泡性に優れる ※詳細は弊社H...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

ルテニウムエッチング液『RECシリーズ』

半導体デバイスやフォトマスクの材料として使用されるルテニウム用エッチン…

DRAMのキャパシタ電極やフォトマスクに使われるRu膜に対応したエッチング液です。【特徴】 ■REC-01はRu膜を短時間でエッチングでき、RuO2もエッチング可能 ■REC-11はRuO4ガスの発生を抑制でき、ウェーハの金属汚染が少ない ■REC-11は...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

【総合カタログ】110年分の歴史・技術が詰まった高機能性薬品

電機・電子デバイス製造に欠かせない各種機能性薬品。創業110年の経験と…

林純薬工業は創業から110年の歴史を誇る、高機能性薬品を提供する機能性工業用薬品メーカーです。このたび、その経験と技術を凝縮した機能性薬品の総合カタログを発行することとなりました。各金属膜エッチング液、現像液/剥離液、テクスチャーエッチング液、粗面化エッチング液など、電気・電子デバイス製造プロセスに欠かせない、各種高機能性薬液を掲載しております。この高機能性薬品総合カタログを抽選で2...

メーカー・取り扱い企業：林純薬工業株式会社電子材料部

金属エッチング装置【チタン】枚葉式｜NSCエンジニアリング

薄板から厚板まで幅広い製品の高精度エッチングが可能です！最適スプレー条…

パターニングされたチタン板を寝かせた状態で水平搬送し、スプレーでエッチング液を吹き付ける方式により、薄板から厚板のチタンシートのエッチング処理を可能とします。【当社装置の特徴】 ■表裏のエッチング形状が同等 ■液管理、液再生システムにより低コスト ■最新技...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

小型超高精度エッチング装置　ＭＰＥ４０

◆ファインパターン対応のノズル配置により高精度なエッチングが可能 ◆独立圧調により高精度なエッチングが可能（上スプレー） ◆標準機だから短納期 ◆仕様に合わせたカスタマイズが可能 ◆各種エッチング液に対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

ガラスエッチング装置【液晶ガラス基板】| NSCEng

液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄…

×機械研磨ではタクトが合わない。 ×フッ酸によるガラス溶解では綺麗に仕上がらない。などのお困りごとを解決します。当社のガラスエッチング装置は「浸漬ディップ式」と「枚葉搬送スプレー式」の2種類あります。どちらも量産装置として数多くの実績がある装置です。【当社装置の特徴】 ■狙い板厚±30μm規格でCpk1.33以上可能 ■自動板厚制御により1パス仕上げ可能 ■液再生システムにより...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

チング装置 ◆狭いスペースでも設置可能 ◆使いやすい機能とすっきりしたデザイン ◆お手頃価格のエントリーモデル ◆標準機のため短納期が可能 ◆仕様にあわせたカスタマイズが可能 ◆各種エッチング液に対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

小型薄板用エッチング装置　ＦＢＥ４０

よるダメージがない ◆薄板用液切り方式でワークの折れ、シワがない ◆２インチ角の小ワーク(セラミック基板等)でも処理可能 ◆標準機だから短納期 ◆仕様に合わせたカスタマイズ可能 ◆各種エッチング液に対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

フォトエッチング＋黒処理・・光学部品の反射防止や車載カメラに

SUS等をエッチング+黒処理加工で、反射防止機能をプラス。エッチン…

/光学用マスク/エンコーダ用スケール/内視鏡部品 ------------------------------------------ 【フォトエッチング加工とは】写真製版プロセス+エッチング液の溶解作用により金属薄板を任意の形状に加工します。プレス加工のようなバリや加工硬化が無く、ミクロン単位の微細パターンも可能。エッチングは精密部品の製造に適しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メルテック本社工場

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

3M(TM) フィルターハウジング 5VC_7VCNタイプ

耐薬品性に優れているため、エッチング液、海水、化学薬品などに使用可能！…

に、幅広くご使用いただけます。【特長】 ■接液部はオールプラスチック製 ■3つの部分からなるハウジング ■本体締め付けがクランプ構造 ■出入口大口径【利点】 ■耐薬品性に優れているため、エッチング液、海水、化学薬品、現像液、メッキ液、　その他腐食性液などに使用できる ■カートリッジ交換が容易で短時間に行える ■分解、組み立てが容易で、洗浄の手間がかからない ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業：スリーエムジャパン株式会社フィルター製品事業部

酸・金属塩分離装置「リサイター」

水の使用のみで金属塩と遊離酸を分離します！動画掲載中！

リサイターは金属を含んだ酸溶液を特殊なイオン交換樹脂で金属塩と遊離酸に分離して、金属塩を排出する装置です。遊離酸の回収には薬品や熱などのエネルギーは必要なく、水を使用するだけなので、大変経済的です。エッチングなど処理液の組成や濃度を一定に保ちます。 *酸処理液の濃度管理の自動化。　*酸処理工程の安定化。 *酸処理液の長寿命化。　*酸消費量の削減。 *廃酸処分費の削減。　*排水処理への負荷...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三進製作所

デスミア装置

レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にス…

株式会社SETO ENGINEERINGでは、『デスミア装置』を取り扱っています。当装置は、レーザードリルなどで、ブラインドビア及び、スルーホールなどの穴あけ後にスミアを除去できます。ラン構成は1レーンで、加工面は両面。装置構成は、巻出～脱脂～エッチング～中和還元～～純水洗～液切り～乾燥～巻取となっています。【スペック】 ■ラン構成：1レーン ■搬送速度：0...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

銅表面粗化処理装置　マイクロエッチング装置

板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能、FPC搬送対応も可能です。

銅表面粗化処理装置　マイクロエッチング装置は、板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能な表面処理装置です。ファイン化仕様ノズルパターンとオシレーション機構により均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精度です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能 ○高い面精度で均一な表面処理を実現 ○FPC搬送対...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

サファイア基板エッチング用石英バス　ＡＣＣＵＢＡＴＨ®　Ｘｅ

サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス最高300…

Accubath®　Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。そして、私達は新たな課題に挑戦する...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒロテック東京営業所

キャップレス潜水ヒーター

薬液に合わせて、石英・ステンレス・チタン・フッ素樹脂などバリエーション…

潜水ヒーターシリーズは、谷口ヒーターズが特許防水システムを液中に沈めて加熱する電気ヒーターに採用したことにはじまり、「キャップレス潜水」と名付け、技術開発により潜水と安全にかかわる特許のほか、全基本モデルにCE（安全）マーク認証とIPX8を取得しています。1年間防水保証付。 ...液槽を選ばない液中没し型の潜水式薬液加熱ヒーター。 IPX8（JIS防水保護等級8）の防水性能。 CE（安全）マ...

メーカー・取り扱い企業：谷口ヒーターズ株式会社千葉事業所

無電解・還元型ノンシアン銀めっき液　ダインシルバー RD

ノンシアン・還元型の無電解銀めっき浴です。触媒付与との組合せで、樹…

ダインシルバーRD2は、ノンシアン・自己触媒型の無電解銀めっき液です。対象とする素材に適した前処理工程、パラジウム触媒付与との組合せで、樹脂やガラスなどの不導体上に銀めっき皮膜の形成が可能です。 ※詳しくはお問い合わせ下さい。...【工程例】 ■素材に適したエッチングなどの前処理 ■触媒化 ■活性化 ■自己触媒型Agめっき ■乾燥 ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：大和化成株式会社

チタニューム線　TIS-3

エッチングのお手伝い

エッチング液に侵されず、簡単に曲げることが可能なチタニューム線...

メーカー・取り扱い企業：サンハヤト株式会社

【事例集*半導体用途】高圧ダイヤフラムハイドラセルポンプ

【従来ポンプでお困りの方必見！】エッチング処理で発生する酸性廃棄物の中…

全世界のあらゆる産業で40年以上の使用実績を持つハイドラセルポンプは、高圧ポンプでありながら、ダイヤフラム式の強みであるシールレス構造を特長とし、従来ポンプでは困難であった用途でも安心してご使用可能です。エッチング工程で発生する酸性廃棄物の中和処理などの定量・薬注用途のPシリーズやサファイア加工時のクーラント送液および純水洗浄向けGシリーズなど、用途に合わせた豊富なバリエーションをご用意。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンコー

ケミカルサーキュレータ

各種薬液の温度管理に！ウェットプロセスに欠かせない直接循環式薬液恒温装…

日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度にコントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、...

メーカー・取り扱い企業：日本エクセル株式会社

ロール to ロール化成処理装置｜NSCエンジニアリング

ロール状のワークを処理することで段取り替えの回数削減による効率アップが…

『ロール to ロール化成処理装置』は、ロール状の金属薄膜に対してレジスト塗布・エッチング・現像・剥離処理を行います。ロール状のワークを処理することで、段取り替えの回数削減による効率アップが期待できます。ワークの材質やサイズ、処理方法、使用する薬剤に適した設計をいたしますので、お気軽にご相談ください。【特長】 ■ロール状の金属薄膜に対してレジスト塗布・エッチング・現像・剥...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

ケミカルヒータ

金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置をご…

日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いています。さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能です。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：日本エクセル株式会社

システム改質装置『オゾンナノバブル　FBLOW』

安全で環境に優しい前処理工程を実現するシステム改質装置！

ンナノバブル　FBLOW』は、オゾン濃度1.5ppmのオゾンナノバブル水に浸漬し、樹脂表面を改質することで密着性の高いめっきを行うことができるシステム改質装置です。既存のクロム酸エッチング液に替わる安全で環境に優しい前処理工程を実現いたします。【特長】 ■オゾン濃度1.5ppm ■樹脂表面を改質 ■安全 ■環境に優しい前処理工程 ※詳しくはPDFをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社RSテクノロジー

金属エッチング装置【銅】枚葉式｜NSCエンジニアリング

薄板から厚板まで幅広い製品の高精度エッチングが可能です！最適スプレー条…

パターニングされた銅板を寝かせた状態で水平搬送し、スプレーでエッチング液を吹き付ける方式により、薄板のみならず厚板の銅エッチング処理を可能とします。【当社装置の特徴】 ■表裏のエッチング形状が同等 ■エッチング断面の光沢化が可能 ■液管理、液再生システ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

金属エッチング装置【ステンレス】枚葉式｜NSCエンジニアリング

薄板から厚板まで幅広い製品の高精度エッチングが可能です！最適スプレー条…

パターニングされたステンレス板を寝かせた状態で水平搬送し、スプレーでエッチング液を吹き付ける方式により、薄板から厚板のステンレスシートのエッチング処理を可能とします。【当社装置の特徴】 ■表裏のエッチング形状が同等 ■液管理、液再生システムにより低コスト ■最...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

エッチング実験装置『ミニミニエッチャー縦型・左右スプレー』

左右の薬液噴射ノズルが首振り動作！大型のエッチング装置同様の結果が得ら…

【特長】 ■大型のエッチング装置同様の結果が得られる ■温度の自動制御・スプレー時間制御タイマー付き ■本体の材質にPVC（ポリ塩化ビニール）を使用 ■酸やアルカリに耐性あり ■エッチング液・レジスト・剥離液などの実験や試験に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマテック

エッチング実験装置『ミニミニエッチャー横型・上下スプレー』

温度の自動制御・スプレー時間制御タイマー付きエッチング実験装置のご紹介

【特長】 ■大型のエッチング装置同様の結果が得られる ■温度の自動制御・スプレー時間制御タイマー付き ■本体の材質にPVC（ポリ塩化ビニール）を使用 ■酸やアルカリに耐性あり ■エッチング液・レジスト・剥離液などの実験や試験に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマテック

研究開発用小型エッチング装置　ＨＰＥ４０

狭いスペースＯＫ、使い用途に合わせた設定変更可能、短納期を実現した『小…

独立圧調（上スプレー）により均一なエッチングが可能 ◆狭いスペースでも設置可能 ◆使いやすい機能とすっきりしたデザイン ◆標準機だから短納期 ◆仕様に合わせたカスタマイズが可能 ◆各種エッチング液に対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

エッチング実験装置　ミニミニエッチャー水平揺動型・上下スプレー

酸やアルカリに耐性あり！多用途に使用可能なエッチング実験装置

御付きのエッチング実験装置です。上下の薬液噴射ノズルが揺動し、大型のエッチング装置同様の結果が得られ、本体の材質にPVC（ポリ塩化ビニール）を使用。酸やアルカリに耐性があり、エッチング液・レジスト・剥離液などの実験や試験にご使用いただけます。【特長】 ■大型のエッチング装置同様の結果が得られる ■温度の自動制御・スプレー時間制御タイマー付き ■多用途に使用可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマテック

【半導体・プリント基板水平製造装置】酸処理・ソフトエッチング

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上…

株式会社フジ機工の取り扱う、表面処理用の酸処理・ソフトエッチングをご紹介します。好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能。また、水洗・乾燥を最適化することにより、液シミやムラ・サビの無い仕上がりになります。【特長】 ■好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能 ■水洗・乾燥を最適化 ■液シミやムラ・サビの無い仕上がりになる ■乾燥装置のクリーン設計により、ダス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジ機工

【SEP処理事例】エッチング加工品（バリ除去・表面粗さ向上）

エッチング加工品のSEP処理事例をご紹介！バリ・表面の粗れを除去します

SEP処理とは、製品を特殊な液に浸漬し、化学的に金属を溶解させ微細なバリ除去、研磨、洗浄を行える技術です。エッチング加工バリの除去や、エッチング加工による表面の粗れ除去にお困りではございませんか？エッチング加工を行うと実は表面が粗れていたり、エッジにバリが発生することがあります。そのため、エッチング品にSEP処理を施す製品も増えています。【事例】 ■エッチ...

メーカー・取り扱い企業：新中央工業株式会社

洗浄装置「ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機」

溶剤1液から2液式まで、多種に対応することができる洗浄機

ヴァリアス社製の「ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機」は、揺動、エレベータ付きに対応（モーター、シリンダ式）。下限で超音波洗浄(水切り)、中間で蒸気洗浄、上限で乾燥処理をします。オプションには専用チラーユニットをご用意。ご要望に対応した装置を設計製作します。【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社

半導体向け装置「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」

外装SUSは仕様！CR内に対応した洗浄装置、剥離装置

ヴァリアス社製の「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」は、多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載。処理能力に対応した自動搬送型で、剥離液にはリークの無い配管を使用。ポンプもシールレス採用しています。【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応 ○装置内はFFU搭載も可能詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【取...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社