高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

FluoroClearプリーツ オールフッ素樹脂　GFLシリーズ

幅広い化学的適合性と耐熱性を提供！互換性のある化学薬品を使用して消毒可…

『GFLシリーズ』は、マイクロエレクトロニクス業界の非常に浸食性の高い ウェットエッチングおよび洗浄用途向けに設計されている 高純度FluoroClearフィルタカートリッジです。 100％フッ素樹脂材料で構成されたECTFEハードウェアと支持層は、幅広い 化学的適合性と耐熱性を提供。PTFEメンブレンは、低圧力損失で高流速と 高純度の流出液を供給します。 カートリッジは、洗浄...

メーカー・取り扱い企業： 日本フィルトレーショングループ株式会社

充填配管向け『細径チューブフィルター（エレメント+ハウジング）』

点眼薬やインクなど、少量の液の充填設備で実績あり！

■チューブ型のエレメント、濾過精度2ミクロン～200ミクロンまで対応。 　薄厚の焼結金網スクリーン（標準材質：SUS316およびSUS316L）を採用。 ■6A～15A程度のステンレスパイプや、φ6～φ10のチューブと接続。 （接続部形状：小径ヘルールフランジ／管用テーパーネジ／ホース用タケノコ） ■ハウジング使用材質：SUS316L、 仕上げ：電解研磨、で製薬工程での対応も。 （SUS304も対...

メーカー・取り扱い企業： ニチダイフィルタ株式会社

3D NAND ソリューション

3D NAND の課題とインテグリスのソリューションのご紹介

【その他の製品ソリューション】 ＜最上層から最下層までの一貫性＞ ■特殊配合のエッチング液 ＜Qタイムにおける不具合の回避＞ ■Spectra (スペクトラ) EBM FOUP ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

フッ素樹脂継手『60シリーズ』

フレアーシール方式を採用！液置換特性が大幅アップします

『60シリーズ』は、CMPスラリーの凝集対策や、フォトレジストの発泡・ ゲル対策、エッチング・剥離液などの涙漏れ対策に適したフッ素樹脂 継手です。 ボディ、ナット形状のどちらもが独特の構造（U.S. PAT.）になっており、 クリーンで安全なことはもちろん、液溜り、涙漏れが無く、増し締めが 要らないというご要望に近い性能を備えております。 【特長】 ■涙漏れが無い ■液溜り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロウエル