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6件 - メーカー・取り扱い企業
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35件 - カタログ
241件
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PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能
前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 (成膜、エッチング・アッシング、アニール) カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成(ロードロックタイプ、インラインタイプなど)をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。(加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他) ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能(オプション)。 Z軸 (昇降軸) 5...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ロード/アンロードシステム
ワークサイズ、カセット数、アライナなど各種対応致します。 仕様につきましてはお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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