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ロボット搬送付き、多機能200x200mmウェーハマッピング装置RD8…
m - 2200nm ○測定対応ウェーハサイズ：２，３，４，６，８インチその他（200x200mmまで） ○マッピング間隔：0.01mm～(0.02mm繰り返し精度) ○ロボット搬送：25枚カセットｘ２ ○搬送対応ウェーハサイズ：2～6インチ又は4～8インチ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ワイ・システムズ
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