焼却炉向け　排ガス中和処理用重曹製剤『アクレシア』

PR乾式で湿式並みの性能を！ ＨＣＬ、ＳＯｘ除去に高い効果！ 粉砕機不…

『アクレシア』は高い反応性を有し、消石灰に比べて酸成分中和の作業管理が簡単です。 さらに、重曹が主成分なので、安全性も高く、環境にも優しい中和薬剤として注目されています。 【特長】 ■高反応性 排ガス温度に影響されず、ＨＣＬ、ＳＯｘ、硫酸ミストを中和します。 ■最終処理コストの削減 少ない薬剤量で中和するので、未反応残渣が減ります。 また、焼却後の飛灰量やキレート剤使用量も少なく...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

産業廃棄物焼却プラント『ヤスジマ製 バイオマスボイラシステム』

PRボイラ排熱を利用し、エネルギーコストを削減。汚泥等にも対応。テスト機で…

『ヤスジマ製 バイオマスボイラシステム』は、 「バイオマスボイラ」と「撹拌乾燥機」を組み合わせた 産業廃棄物を焼却するためのプラントシステムです。 「バイオマスボイラ」では木屑やバークなどを燃焼させ、 「撹拌乾燥機」は食品残渣や汚泥などの乾燥に使用。 撹拌乾燥機はボイラ排熱を利用することで エネルギーコストやCO2の削減にも貢献します。 【特長】 ■装置の設計から製造、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤスジマ

プラズマダイシング装置『MDS-100/MDS-300』

複数サイズのウェハに対応！誘導結合プラズマを使用したBosch法による…

安定性、均一性に優れた25枚連続処理が可能なプラズマダイシング装置です。 高い均一性を保ちながら、ソーやレーザのようなウェハへのダメージを 発生させずに処理を行うことが可能。 高速ガス切り替えシステムを用いたBosch法によって、優れた側壁形状および 自由な形状での加工を実現し、既存の手法と比較して優れたダイ強度を 提供いたします。 【特長】 ■ダイの品質/歩留まり/...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマCVD装置『SHUTTLELINE(R)シリーズ』

小型で多用途に応用可能！デバイス評価プロセスにも適応できる高機能装置で…

【スペック】 ■サイズ：(本体・標準)W~800mmxD1700mmxH1500mm 　※サイズは構成に応じて異なる ■ガス配管：最大12ライン(プロセスガス11ライン+パージ用N2) ■対応ウエーハサイズ：最大φ200mmフルウエハ、クーポンタイプ、パッケージ化ダイ等 　※導入可能サイズ・枚数はモデルによって異なる ■...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマCVD装置『210Dモデル』

φ200mmウェーハまで対応！成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…

　ICP-RIEドライエッチャー ■-20℃～150℃(オプションにより変更可能) ■クーポンタイプから最大φ200mmフルウェーハまで対応 ■2”ウェハ7枚、3”ウェハ3枚等のバッチ処理も可能 ■ガス配管：標準8ライン(オプションにより最大11ライン) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社