処理効率は98％以上のアンモニア分解装置！省エネルギーを実現

PR某化学メーカー等、導入実績多数！　排ガスの風量に合わせて小風量～大風量…

当製品は、NH3を使用した試験を実施されており、 その排ガスを処理する試験用アンモニア分解装置です。 処理効率は98％以上で、自社製バーナを使用しており、安全に処理します。 また高濃度のアンモニアの場合は、直接燃焼することも可能です。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■某化学メーカー等、導入実績多数有り ■排ガスの風量に合わせて小風量～大風量まで対応可能 ■省スペース、省エネル...

メーカー・取り扱い企業： サンレー冷熱株式会社

【VOCを低減】悪臭・有害ガスを撃退！強力脱臭装置※事例集進呈中

PR電源があれば設置可能！大掛かりな配管工事が不要で、煙草、シンナーや有機…

シューマンの脱臭装置（脱臭機）は、アンモニア臭や硫化水素はもちろんのこと、活性炭では除去しにくい高濃度の「アルデヒド類」を低濃度まで吸収します。工場などの広い作業場、オフィスや店舗などに導入実績あります。お客様の工場にてデモ機による脱臭実験も行っております。 【特長】 ■大掛かりな配置工事が不要 ■ほぼすべての悪臭物質・有毒ガスを吸着 ■「なるほど」と実感できる脱臭力 ■シンプルな構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シオガイ精機

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ

ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な４インチサイズ。

料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。

ージを軽減。 ○標準ターゲット金属は白金(Pt)。 ○排気系はＲＰ１００Ｌ/min使用。クリンルーム用にスクロールポンプ（オプション）への変更が可能です。 ○AUTOモード搭載。排気開始から脱ガス・雰囲気ガス導入・コーティング終了まで自動で行なえます。 ○試料台には取り出し易い引出式試料ステージを採用。 【その他の特徴】 ○シリコン基板の大型化にお応えする300mm径の大面積試料ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ

多目的、実験用全自動成膜装置。マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ型…

ゲットとし､強磁場マグネトロン方式の電極により成膜が出来ます。 ○マグネトロン電極は､ターゲット金属表面に沿って外周から中心方向に磁場を作りターゲット全面を有効に利用できます。 ○スパッタ雰囲気ガスArは､ターゲット電極とシールド電極の間隙よりターゲット表面に噴出させ､スパッタ効率を向上させています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＵＭ

電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す為に。マグネトロンスパッタ装置。

パッタ装置　ＭＳＰ－２０ＵＭは電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。

同時にコーティングすることが可能で、検査作業を効率化。 ○マグネトロン型電極は、ターゲット金属の表面に沿って平行な磁場を形成し、プラズマ放電によって 　 発生する電子をこの磁場に閉じこめ、雰囲気ガスのプラズマ化を促進します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス