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PRヘリウム/アルゴン/水素ガスを低濃度から高濃度までの測定に!
■配管内のガス濃度測定が可能 ■リアルタイム測定が可能 ■無線機能を搭載 データをPCに転送・保存。保存したデータを元に履歴を管理! 使用方法などの詳細はお気軽にお問い合わせください。 MoLeTELLは、日清紡ホールディングス株式会社の登録商標です。...対象検知ガス:空気中の水素(トレーサーガス含む)、ヘリウム、アルゴンガス(ガス種は選択ください) 濃度検知範囲、使用温度範囲、使用湿度...
メーカー・取り扱い企業: 日清紡ホールディングス株式会社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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MASS-STREAM ガス用マスフローメータ&コントローラ
定温アネモメータ原理を応用した直接スルーフロー型計器です。
ガス用デジタルマスフローメータ(流量計)&コントローラは、たゆまない性能改善努力の結果流量レンジを0.01…0.2 ln/minから100…5000 ln/min (Air)までカバーできることになり、M+Wの戦略に則った標準化された広範囲な製品のライナップが出来上がりました。計器はIP65プロテクションで、正確な流量の計測と制御のための全ての機能を備えたメインボードで運転されます。計器は共通的に...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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真の質量流量が測定可能なコリオリ式デジタルマスフローメータ(流量計)及…
液体・ガス用精密マスフローメータ(流量計)/コントローラは、先進的なコリオリ式センサー(パテント取得済み)を使用しており運転条件の変化(圧力、温度、密度、熱伝導率、粘度等)に関係なく直接質量を計測するハイパフォーマンスの計器です。調節弁はインテグラルタイプや分離型がご利用いただけます。調節弁はそのモジュール構造において競合他社製とは異なっており、調整作業なしに顧客が現場で交換可能です。標準バルブは...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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高速・正確・高い再現性で効率的!配線と配管をつなげるだけで動作!分析等…
『VDMシリーズ』は、ガス用・液体用の流量コントローラと 温度コントロール可能な気化器で構成される液体供給システム『CEMシステム』に 電源・コントロール機能・1.8インチTFT液晶ディスプレイといった 運転に必要な機能を加えて小型の筐体に内蔵した蒸気供給装置。 配線と配管をつなげるだけで動作し、100 mln/minから 10 ln/minの範囲で飽和蒸気圧までの蒸気を供給できます...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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流量計マスフローメーター・マスフローコントローラー 総合カタログ
欧州で圧倒的シェア!液体・ガスともに広範な流量レンジをカバーできる!マ…
ヨーロッパの流量測定・制御分野で圧倒的シェアを誇るブロンコスト・ハイテックが取り扱う、マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです。目的に必要な精度や流量レンジを兼ね揃えた機器がきっとみつかる広範なラインナップです。 1981年以来、サーマル式とコリオリ式を中心に微流量~大流量まで広範なレンジに対応した高精度の製品を展開しています。世界各国のR&D、工業分野で採用され...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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mini CORI-FLOWの適用(ポンプシステム 事例1)
【ポンプシステム 事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー
蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体(ガス、液体を問わず)を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供い...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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流量計 液体用マスフローメータ/コントローラ 「μ-FLOW」
ウルトラローフローレンジ用に開発さた流量計 液体用マスフローメータ/コ…
液体用マスフローメータ(流量計)/コントローラ「μ-FLOW」は、ウルトラローフローレンジ用に開発された液体マスフローメータ/コントローラです。計器の測定原理はサーマル式でスルーフロー型です。制御ループを構成するのにフローメータと調節弁が連結されます。流量制御は液体流量計と調節弁を一つのボディーにインテグラルすることにより完成されます。調節弁にはパージ機構が付いておりスタートアップ時トラップしてい...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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日清紡ホールディングス株式会社