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チェーンレス・樹脂製連続バケットコンベヤ『SBP型スネコン』
PR金属粉の混入を防止します!食品、化学薬品、電池原料など付加価値の高い搬…
『SBP型スネコン』は、従来型のチェーンにバケットを取り付ける方式ではなく、バケット自体をチェーンにしたチェーンレス・バケットコンベヤです。 従来のチェーン式バケットコンベヤと比較して1/3程度の動力で運転が可能です。 樹脂の特性を生かしたバケットは、搬送物の付着が少なく、耐食性、 耐薬品性等に優れた効果を発揮します。 また、各々のバケットが密着連結しているため搬送物の損傷や漏洩が...
メーカー・取り扱い企業: エステック株式会社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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低圧損、クリーン構造の小型ガス加熱器です
低圧損構造にも関わらずMax300℃まで加温可能な小型ガス加熱器です。 【特長】 ○圧力損失を低減することで流量制御後にも設置が可能 ○オールメタルシールのクリーン構造 ○接ガス部材質はSUS316L ○異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵 ○熱電対内蔵 ○コンパクトサイズでありながらMax300℃の加熱が可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。......
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです
マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能(16ビット)A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示LEDを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです
MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○ロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…
当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応) ○+11〜24V...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series
多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…
独自の特許技術で1.0%F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃(非通電)が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C
EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです
当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ (SEMI E54. 20-1108) ○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応) ○+11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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