フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

マスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW Prestige

EL-FLOWの進化型！多機能なガス用マスフローメータ/コントローラを…

EL-FLOW Prestigeは新世代のブロンコスト製ガス用マスフローメータ・コントローラです。ほぼ全ての構成部品が設計し直され、多くの改良と革新が取り込まれています。ブロンコストはこの新たなシリーズに「温度差バランス技術」を導入し、優れた安定性を実現しています。動的挙動の向上のため、革新的な多段階制御ループを組み込んだ新設計・省電力マイクロプロセッサを搭載しています。新たな金属製ハウジングは、...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

マスフローメータ/コントローラ 「IQ+FLOW」

マイクロフルイディック高品質マスフロー/プレッシャーメータ及びコントロ…

IQ+FLOWマスフローメータ/コントローラは精巧なマイクロプロセッサーベースの計器で高精度、高繰返し性を提供いたします。計器には8のキャリブレーションカーブをストアー可能で、種類の異なったガス毎にキャリブレーションの必要がありません。PCボードは既にPIDコントロール機能を内蔵しており、高安定制御を保証します。 更に、オプションですが、高速応答を必要とするプロセス用にコントロールセトリング時間を...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社